판매용 중고 BOC EDWARDS Helios #168833

BOC EDWARDS Helios는 진공 시스템, 소진 및 반도체 제조의 기술 리더 인 BOC EDWARDS가 제조 한 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. Helios RTP는 반도체 장치 생산에 사용하도록 특별히 설계된 고성능 병렬 웨이퍼 처리 장비입니다. BOC EDWARDS Helios RTP는 열 산소화, 어닐링, 확산 및 etch 등 다양한 처리 작업을 위해 단일 자동 솔루션을 제공합니다. 최대 8 인치 직경의 시간에 최대 16 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 총 웨이퍼 하중은 68 개입니다. 헬리오스 RTP (Helios RTP) 는 모듈식 설계를 통해 확장이 가능하므로, 제조업체들이 자신의 운영 요구를 충족하도록 시스템을 유연하게 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 5 개의 독립 모듈이 있으며, 각각 자체 컨트롤러가 장착되어 있어 균일하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다. E-Century Automation Machine (E-Century Automation Machine) 은 처리 작업을 제어, 모니터링 및 관리하여 수동 튜닝 또는 빈번한 프로그램 수정 없이도 일관되고 안정적인 결과를 제공합니다. E-Century Automation Tool은 또한 팩토리 자동화 및 Fab-wide 및 ERP (Enterprise Resource Management) 소프트웨어와 같은 프로세스 모니터링 시스템과 통합되어 기존 운영 시스템과의 호환성을 보장합니다. 웨이퍼 셔틀은 중단되지 않고 실시간 프로세스 제어를 통해 효율성을 극대화합니다. 따라서 배치 로드 및 언로드하는 데 소요되는 오버헤드 (overhead) 시간이 대폭 단축됩니다. 즉, 보다 효율적이고 비용 효율적인 운영 주기를 의미합니다. BOC EDWARDS Helios RTP는 반도체 생산 프로세스와 관련하여 높은 처리량, 정확한 제어, 최대 유연성을 원하는 제조업체에 적합합니다. 모듈식 설계, 통일된 처리 성능, 통합 소프트웨어, 자동화된 운영 기능을 갖춘 Helios RTP는 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하며, 생산성을 극대화합니다.