판매용 중고 BOC EDWARDS Helios-S #9203027

BOC EDWARDS Helios-S는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 현재 시장에서 사용 가능한 가장 발전된 RTP (Rapid Thermal Processing) 시스템 중 하나이며, 정확한 온도 조절 및 균일 한 열 분배가 필요한 어플리케이션에 이상적입니다. Helios-S는 고급 제어 소프트웨어를 사용하여 각 사이클에 걸쳐 정확한 온도 조절을 보장합니다. 주기당 최대 3 개의 온도 설정 포인트를 제공 할 수 있으며 내장 PID 컨트롤러로 30 ~ 1250-의 온도를 정확하게 모니터링하고 제어 할 수 있습니다. 이 장비에는 2 개의 펠리스터 감지 시스템 (pellistor sensing system) 과 열 매핑을위한 다중 채널 출력 (multiple channel output) 도 장착되어 있습니다. 게다가, 위험한 과열 시나리오가 발생하지 않도록 하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 여기에는 과온 및 과전류 자동 차단 장치와 같은 것이 포함됩니다. 기계는 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 메인 챔버와 난방 도구. 본실은 석영 벽으로 구성되어 있으며, 총 4 개의 난방 구역과 통합 가스 배달 자산이 있습니다. 가열 모델은 챔버에 열을 균등하게 분산시키는 3 개의 밀봉 된 할로겐 램프 카트리지 (halogen lamps) 로 구성됩니다. 이를 통해 가공되는 기질의 전체 표면에서 균일 한 온도를 보장합니다. 장비의 고급 프로그래밍 가능성과 다양한 열 프로파일은 산화, 확산, 증착, 에칭, 이식 등의 프로세스에 사용될 수 있음을 의미합니다. 또한 스캐닝 시스템 (scanning system) 을 통해 정밀 정렬을 통해 프로세스가 원하는 위치에 정확하게 발생할 수 있습니다. BOC EDWARDS Helios-S는 엄청나게 강력하고 정확도가 높은 빠른 열 프로세서입니다. 이 제품은 전례없는 온도 조절 (temperature control), 균일한 열 분배 (uniform heat distribution) 및 주기 시간 (cycle time) 을 제공하여 고품질 및 고성능 반도체 장치를 생산하려는 기업에게 이상적인 선택입니다.