판매용 중고 BOC EDWARDS Helios-S #9203025

BOC EDWARDS Helios-S는 반도체 프로세스의 성능을 향상시키기 위해 설계된 유연한 고성능 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 다양한 보안 프로세스를 신속하고 균일하게 수행할 수 있습니다. 전체 웨이퍼에서 ± 1 ° C 이상의 온도 균일성을 제공하여 안정적이고 비용 효율적인 성능을 제공합니다. Helios-S는 소규모 연구 응용 프로그램 및 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. 25 ~ 1200 ° C 범위의 정밀 열 처리를 가능하게합니다. 동종 온도 프로파일에 대한 뛰어난 온도 균일성, 균일 한 대기, 뛰어난 안정성을 제공하여 프로세스 일관성 및 반복 성을 향상시킵니다. 기존의 RTA (Rapid Thermal Anneal) 공정의 고급 변형을 사용하여 높은 처리량 제조 공정을 허용합니다. 프로세서는 빠른 상승 및 하락률을 특징으로하며, 온도의 균일하고 빠른 변화를 허용합니다. 따라서 정밀도와 균일성이 향상되어 디바이스 성능이 향상되고 다이 (die) 크기가 작아집니다. BOC EDWARDS Helios-S에는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하는 수직 및 수평 튜브 구성이 모두 포함되어 있습니다. 또한 최대 300mm 웨이퍼의 단면 및 다면 처리를 지원합니다. 기존 하이브리드 가스 전달 장비를 사용하여 공정 (process) 과 비활성 (inert) 가스의 원하는 흐름을 제공합니다. Helios-S는 여러 프로세서에 연결할 수 있는 맞춤형 자동화 제어 시스템 (Automation Control System) 을 사용하여 유연한 프로세스 매개변수를 제공합니다. 또한, 이 장치에는 고주파 장치 특성 도구를 위한 제어 기능이 포함되어 있어 프로세스 성능이 향상됩니다. BOC EDWARDS Helios-S는 편리하고 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어를 활용하여 사용자는 시스템을 신속하게 구성하고 운영할 수 있습니다. 편리한 데이터 로깅 기능을 통해 사용자는 Setpoint 를 변경하고 Log Value 를 원격으로 볼 수 있습니다. 또한, 프로세서에는 내장 프로세스 제어 및 장치 검증 기능이 포함되어 있어 반복 가능한 성능을 보장합니다. 요약하자면, Helios-S는 다양한 온도에서 안전하고 높은 처리량을 제공하는 고급 고속 열 프로세서입니다. 동종 온도 프로파일에 탁월한 온도 균일성, 균일 한 대기, 뛰어난 안정성을 제공하여 프로세스 일관성 및 반복 성을 향상시킵니다. 또한, 편리한 자동화 제어 툴과 편리하고 안정적인 운영을 위한 사용자 친화적 인 소프트웨어를 제공합니다.