판매용 중고 BOC EDWARDS Helios-S #9096426

ID: 9096426
빈티지: 2002
Gas abatement scrubber system P/N: Y12024010 2002 vintage.
BOC EDWARDS Helios-S는 반도체 및 기타 관련 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 제품은 Wafer 구성 프로세스에서 프로세스 개발을 위한 신뢰성이 높은 플랫폼입니다. 이 기술은 어닐링, RTA (Rapid Thermal Annealing), 산화 및 확산을 포괄하는 광범위한 응용 분야를 지원합니다. Helios-S 기술은 하드웨어, 소프트웨어, 고급 특허 출원 (patent-pending) 프로세스 개발 툴을 통합하여 가장 빠른 출시 시간 및 최고의 생산 수율을 제공하는 완벽한 열 처리 플랫폼을 제공합니다. BOC EDWARDS Helios-S 플랫폼은 사용자가 프로세스 개발을 특정 애플리케이션의 최적의 조건으로 사용자 정의할 수 있도록 하여 효율성을 높여줍니다. Helios-S 플랫폼을 사용하여, 프로세스 개발자는 매우 낮은 열 주기 시간, 정확한 온도 프로파일, 가변 듀티 사이클 주파수, 평균 실패 시간 계산, 자동 레시피 생성 및 즉석 하드웨어 구성과 같은 기능을 이용할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 사용자는 원하는 프로세스 목표를 보다 빠르고, 일관되게, 그리고 훨씬 더 높은 신뢰성 (안정성) 으로 달성할 수 있습니다. BOC EDWARDS Helios-S 플랫폼은 또한 사용자에게 최고 수준의 안전성과 유연성을 제공합니다. 안전 기능에는 강력한 비상 정지 기능, 혁신적인 Power Up Sequence, Automatic Cool Down 및 자동 열 사이클링이 포함됩니다. 유연한 메뉴 제어 (Flexible Menu Control) 기능을 사용하면 응용 프로그램에 따라 모든 설정을 쉽게 변경할 수 있습니다. 또한 다양한 히터 키트 (heater kit), 열 저항 히터 (thermal resistance heater) 및 콜드 플레이트 (cold plate) 중에서 선택하여 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 선택할 수 있습니다. 헬리오스-S (Helios-S) 기술은 가장 포괄적이고, 효율적이며, 신뢰할 수있는 열 프로세서로, 고급, 빠른 열 프로세서를 찾는 반도체 업계에서 완벽한 선택입니다. 견고한 시스템 설계, 안전 (Safety) 기능, 자동화된 프로세스 개발 툴을 통해 모든 프로세스 개발 프로젝트의 요구를 충족할 수 있습니다.
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