판매용 중고 BOC EDWARDS Helios-E #293604396

ID: 293604396
빈티지: 2004
Gas abatement scrubber system 2004 vintage.
BOC EDWARDS Helios-E (BoC EDWARDS Helios-E) 는 정확한 온도 조절과 뛰어난 균일성이 필요한 상업용 및 산업용 어플리케이션을 위해 설계된 고속 및 고효율 고속 열 프로세서입니다. 매우 정밀한 표면 온도와 짧은 처리 시간이 필요한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다 (영문). 헬리오스 -E (Helios-E) 는 표면 활성화 및 사전 처리를 통해 금속 산화물, 폴리 실리콘 및 질화물 기반 물질을 포함한 광범위한 물질을 처리하도록 만들어진다. 이 장치의 주요 특징은 최대 800 ° C의 넓은 온도 범위와 27.5 "× 33.5" 의 넓은 작업 면적을 포함하여 큰 기판을 수용 할 수 있습니다. 또한, BOC EDWARDS Helios-E는 추출 된 질소 충전 챔버를 사용하여 균일 한 대기 환경을 유지하고 웨이퍼가 오염 또는 산화를 얻지 못하도록 보호합니다. 분리 가능한 상하 (Top) 및 하단 (Bottom) 난방 요소는 높은 난방 속도와 냉각 속도를 처리 할 때에도 최고 균일성을 얻도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치에는 정확한 설정과 데이터 모니터링을 위한 직관적인 터치 스크린 (touch screen) 과 간편한 프로그래밍 기능 및 원격 작업을 위한 PC 기반 모니터링 및 제어 시스템 (Control System) 이 장착되어 있습니다. 시스템의 소프트웨어는 사용자 친화적 인 운영 및 프로그래밍을 위해 설계되었습니다. 또한, 난방 및 냉각 과정에서 발생하는 온도 변화에 반응하는 닫힌 루프 (closed loop), 디지털 온도 제어 장치 (digital temperature control unit) 가 장착되어 있습니다. 또한, Helios-E에는 저압 경보 (light light) 와 고온 경보 (alarm) 와 같은 고급 안전 기능이 장착되어 보호 및 안전이 추가되었습니다. 이 프로세서는 고객이 직접 구성할 수 있으며, 여러 애플리케이션과 여러 프로세스를 실행하도록 프로그래밍할 수 있으며, 다양한 대용량 (high-volume) 처리 환경에서 사용하기에 적합하며, 다용도로 사용할 수 있습니다. 전반적으로 BOC EDWARDS Helios-E는 효율적이고 신뢰할 수있는 빠른 열 프로세서로, 높은 수준의 균일성과 열 정확도를 자랑합니다. 이 제품은 다양한 수준의 정확한 온도 처리 (temperature process) 를 보장하기 위해 필요한 모든 기능을 갖추고 있어 산업용/상용용 어플리케이션을 위한 안전하고 효율적인 난방/냉각 시스템 (heating and cooling system) 을 제공합니다.
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