판매용 중고 BOC EDWARDS Helios 1 #9203075

BOC EDWARDS Helios 1 Rapid Thermal Processor는 현대 반도체 장치의 고정밀 처리를 위해 설계된 다재다능하고 안정적이며 효율적인 열 시스템입니다. 최대 1,200 ° C의 빠른 열 처리, 최고 300 ° C/초의 램프 속도. 이 시스템은 고속 램프를 활용하여 열 주기 (thermal cycling) 시간을 대폭 단축하여 프로세스 단계 간 시간 (turn-around time) 을 단축할 수 있습니다. Helios 1에는 초고속 랩핑 석영 서셉터가 장착되어 있으며 500mm ~ 150mm 웨이퍼 크기입니다. 독자적으로 제어되고 가열되는 서로 다른 영역 (zone) 으로 설계되어 공정 제어를 위한 정밀 온도 프로파일링이 가능합니다. BOC EDWARDS Helios 1은 프로세스 챔버 전체에서 뛰어난 균일성을 제공하여 각 프로세스에서 반복 가능한 결과를 얻습니다. 또한 맞춤형 어닐링 (annealing) 및 확산 프로파일 (diffusion profile) 이 있으며 벨, 릴레이 및 기타 액세서리를 장착하여 전열 (pre-heat) 및 냉각 단계 (cooling stage) 와 같은 고급 기능을 사용할 수 있습니다. Helios 1은 고급 모션 제어와 더 쉬운 유지 관리 기능으로 설계되었습니다. 수동 로드 및 언로드 시간을 줄이기 위해 자동 로드/언로드 (Auto-load/Unload) 타일이 장착되어 있으며, 사용자가 열 프로세스를 손쉽게 예약, 모니터링 및 조정할 수 있는 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 또한 향상된 데이터 수집 기능을 통해 열 처리 (thermal process) 를 모니터링 및 제어할 수 있습니다. BOC EDWARDS Helios 1은 안정적이고 효율적인 빠른 열 처리 시스템으로, 매우 빠른 열 램프 속도, 우수한 열 균일성, 사용자 정의 가능한 프로파일을 제공하여 높은 정밀도 결과를 얻을 수 있습니다. 자동 로드/언로드 타일 및 자동 히터 교체와 함께 Helios 1은 최신 반도체 처리에 귀중한 도구입니다.