판매용 중고 AXCELIS Summit #9298675

AXCELIS Summit
ID: 9298675
웨이퍼 크기: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12".
AXCELIS Summit (AXCELIS Summit) 은 신속한 열 처리 장비로, 엔지니어와 과학자들이 다양한 프로세스 동안 온도와 타이밍을 효과적이고 정확하게 제어 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 LED 터치 스크린, 활성 PID (Proportional-Integral-Derivative) 제어 및 최신 AST (Advanced Sensing Technologies) 열 기술과 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 기술은 타의 추종을 불허하는 프로세스 제어 장치 (process control unit) 를 제공하며, 다양한 프로세스에서 열 지층 매개변수를 빠르고 정확하게 자동으로 감지하고 제어할 수 있습니다. Summit 의 LED 터치스크린을 사용하면 다양한 처리 기능을 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 명령 (command) 을 신속하게 입력하고 결과를 볼 수 있습니다. 활성 PID 제어 시스템 (Active PID Control Machine) 을 사용하면 프로세스 중에 기판의 온도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 도구는 제조 증착, 빠른 열 어닐링, 불순물 소개, 필름 형성, 밀도 등 온도가 중요한 요인 인 기질에서 발생하는 다양한 프로세스의 효율성을 극대화합니다. AXCELIS Summit 의 Advanced Sensing Technology (고급 감지 기술) 는 여러 층의 재료에서 동시에 열 지층을 감지하고 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 추측이 필요 없으며, 프로세스 매개변수를 보다 쉽고 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다 (영문). 또한 Summit (서밋) 의 고급 센서 (Advanced sensor) 는 프로세스 매개변수에 대한 완전한 실시간 피드백을 제공하여 사용자가 프로세스 전, 중, 후에 기판 조건을 더 잘 이해할 수 있도록 합니다. 또한 AXCELIS Summit 은 다양한 고급 제어 (Advanced Control) 를 통해 설계되었으며, 사용자가 지정된 프로세스 동안 다양한 매개변수를 동적으로 제어할 수 있습니다. 또한, 사용자는 특정 프로세스에 대해 필요에 따라 프로세스 변수를 사용자 정의하여 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 미세 조정할 수 있습니다. 또한 이러한 컨트롤을 사용하면 필요에 따라 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 신속하게 수정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 서밋 (Summit) 은 프로세스의 온도 및 타이밍을 제어하는 데 이상적인 고급 빠른 열 처리 자산입니다. AXCELIS Summit 의 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 고급 제어 (Advanced Control) 기능은 온도 및 타이밍을 정확하게 제어해야 하는 사용자에게 적합한 툴입니다. 또한 유연한 제어 (Flexible Control) 기능을 통해 프로세스 매개변수를 쉽게 사용자 정의할 수 있으므로 최적의 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다.
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