판매용 중고 AXCELIS Summit 300XT #9362104
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ID: 9362104
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Process: Oxide, Anneal
CIM: SECS GEM
(2) Transfer loadlocks / Cooling stations
Mini environment
(2) Furnace process modules
Transfer chamber
(2) GENMARK Wafer handlers
Factory interface: (3) FOUPs
Load port non-functional
2001 vintage.
AXCELIS Summit 300XT는 웨이퍼 기반 집적 회로의 생산을 위해 설계된 고성능 고속 열 프로세서입니다. 서밋 300XT (Summit 300XT) 는 비용 절감과 함께 집적 회로 웨이퍼의 제조 공정을 개선하기 위해 설계되었습니다. AXCELIS Summit 300XT는 효율적이고 정확한 열 처리를 위한 다양한 기능을 제공합니다. 처리 챔버 (Processing Chamber) 는 열 효율이 가장 높은 단열재를 통합하여 웨이퍼의 가열과 냉각을 빠르고 더욱 빠르게 수행할 수 있습니다. 또한, 챔버 (chamber) 설계는 추가 웨이퍼 (wafer) 전송 장비가 필요하지 않으므로 장비가 기존 생산 시스템보다 빠르고 안정적입니다. 빠른 열 프로세서는 또한 정확하고, 균일하며, 반복 가능한 열 처리를 위해 다단 난방 및 냉각 시스템을 사용합니다. 서밋 300XT (Summit 300XT) 는 또한 정확한 온도 및 가스 흐름 제어를 특징으로하며, 다양한 제조 프로세스에 이상적입니다. 즉, 기존 운영 시스템에 손쉽게 통합할 수 있으므로 생산성을 즉시 향상시킬 수 있습니다. 편의를 위해, 이 장치는 원격 액세스 (remote access) 기능을 갖추고 있으며, 이 기능을 통해 운영자는 원격 위치에서 작업을 모니터링하고 조정할 수 있습니다. AXCELIS Summit 300XT는 안전하고 안정적인 운영을 보장하는 고급 안전 기능도 제공합니다. 이 기계에는 긴급 종료 (Emergency Shoffs), 과도한 온도 또는 가스 압력 방지, 운영자가 모든 문제를 신속하고 정확하게 해결할 수있는 고급 모니터링 및 진단 시스템 (Diagnostic System) 이 포함됩니다. 결론적으로, Summit 300XT는 집적 회로의 생산 프로세스를 개선하고 전반적인 비용을 절감하도록 설계된 최첨단 빠른 열 프로세서입니다. 이 도구는 균일 하고 반복 가능한 열 처리, 정밀한 온도, 가스 흐름 제어, 긴급 종단 등의 고급 기능을 제공합니다. 또한, 이 자산을 기존 운영 시스템에 손쉽게 통합할 수 있으며, 원격 액세스 기능을 통해 편리하게 액세스할 수 있습니다.
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