판매용 중고 AXCELIS Summit 300XT #9359564

AXCELIS Summit 300XT (AXCELIS Summit 300XT) 는 다양한 애플리케이션에 매우 생산적이고 정확한 열 처리를 제공하도록 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 장비는 최적화 된 프로세스에 건식 공간 어닐링 및 고온 공동 화재를 사용합니다. 리본과 같은 복사 램프가있는 듀얼 존 (dual-zone) 핫 플레이트와 열 예산을 줄이고 온도 균일성을 향상시키기 위해 재순환하는 공기 흐름이 특징입니다. 광범위한 (옵션) 원격 온도 센서를 사용하면 온도 모니터링을 통해 처리 조건을 정확하게 제어할 수 있습니다. 프로세서는 핫챔버 (Hot Chamber) 로부터의 인력 보호를 위한 연동 시스템 (Interlock System) 및 온도 센서 (Temperature Sensor) 를 포함한 향상된 안전 기능으로 설계되었습니다. 독특한 재순환 공기 흐름 장치를 사용하면 챔버 내에서 균일 한 온도를 유지하여 열 예산을 최대 50% 까지 줄일 수 있습니다. 이렇게 하면 제품을 처리하는 데 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. 이 프로세서는 반도체 어닐링, 도펀트 확산 및 산화물의 열 산화 등 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 또한 매우 작은 샘플 영역의 수동화, 합금 및 재결정에도 적합합니다. 기계에는 동적 가스 제어 도구 (dynamic gas control tool) 가 포함되어 있어 프로세스 요구 사항에 맞게 용광로 대기를 정확하게 조정할 수 있습니다. 활성 정지 가스 자산은 가스 흐름의 균일 한 분포를 보장합니다. Summit 300XT는 탁월한 처리량과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델의 고유한 설치 공간은 R&D 및 생산 시설에서 다중 프로세스 (multi-process) 기능을 지원하는 데 이상적입니다. 이 장비에는 혁신적인 통합 컨트롤러 (Integrated Controller) 가 있으며, 효율성을 극대화하고 프로세스 안정성을 극대화하는 다양한 센서 및 안전 (Safety) 옵션이 포함되어 있습니다. AXCELIS Summit 300XT (AXCELIS Summit 300XT) 는 높은 온도와 작은 공간이 필요한 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 향상된 안전, 향상된 효율성, 높은 처리량 및 열 처리 요구 사항에 대한 정밀도를 제공합니다.