판매용 중고 APSYSTEM KORONA-12SP #293666860

APSYSTEM KORONA-12SP는 다양한 반도체 웨이퍼를 빠르게 열처리하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 빠른 가속 (rapid acceleration) 을 사용하여 샘플의 최고 온도에 도달하는 고급 직접 가열 기술을 사용합니다. 이 프로세서는 내장 화학 증기 증착 (CVD) 튜브 및 직접 가열 음극을 갖추고 있으므로 전체 웨이퍼 표면을 균일하게 가열 할 수 있습니다. KORONA-12SP 자체는 공랭식입니다. 즉, 웨이퍼 냉각에 액체를 사용해서는 안됩니다. 이 기계에는 멀티 제트 프로세스 모듈 (multi-jet process module) 이 장착되어 있어 프로세서가 웨이퍼 환경을 빠르고 정확하게 변경할 수 있습니다. 이 모듈 내에서 압력, 가스 흐름, 온도를 변경하면, 사용자는 샘플의 확산 속도 (diffusion rate) 또는 증착 속도 (deposition) 를 제어 할 수 있습니다. APSYSTEM KORONA-12SP에는 고급 마이크로파 가열 래치도 있습니다. 이 걸쇠는 치료 중에 웨이퍼를 단단히 고정시켜 회전 중에 미끄러지는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 래치 (latch) 에는 난방 요소가 내장되어 있어 처리 중 별도의 열원이 필요하지 않습니다. 정밀한 온도 조절을 위해 KORONA-12SP에는 고급 적외선 온도 감지 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼의 온도를 모니터링하여 필요에 따라 발열량을 조정합니다. APSYSTEM KORONA-12SP에는 고품질 안전 장치도 있습니다. 프로세서에는 경고 (warning) 경보가 장착되어 있는데, 이 경보는 온도가 설정된 임계값에 가까워질 때 사용자에게 경고를 줍니다. 또한, 작동 중에 샘플이 안전하게 보호되도록 다양한 잠금 (lock) 및 캐치가 있습니다. 전체적으로 KORONA-12SP 는 안정적이고 효율적인 프로세서로, 다양한 반도체 웨이퍼를 신속하게 처리하도록 설계되었습니다. 내장 화학 증기 증착 튜브, 직접 가열 음극, 멀티 제트 공정 모듈, 마이크로파 가열 래치 및 적외선 온도 감지 기계를 통해 정확하고 정확한 열 처리를 통해 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 안전 메커니즘은 프로세서가 항상 안전하게 작동되도록 합니다.