판매용 중고 APSYSTEM KORONA-1200P #9351328

APSYSTEM KORONA-1200P
ID: 9351328
빈티지: 2011
Rapid Thermal Processing (RTP) systems Process: IMP 2011 vintage.
APSYSTEM KORONA-1200P (APSYSTEM KORONA-1200P) 는 높은 정확도로 기판을 빠르게 가열하고 식히는 데 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. 이 프로세서는 독보적인 기술 설계를 통해 외부 제어 시스템 (external control system) 이 필요 없이 일정하고 제어 가능한 열 환경을 유지할 수 있습니다. 이것은 에칭, 도핑, 금속 증착, 박막 증착과 같은 빠른 열 처리가 필요한 응용 분야에 이상적입니다. 프로세서는 강력하고 신뢰할 수 있는 고출력 히터로 구동되며, 최대 1200oC까지 1초에 도달할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 사용자가 외부 설정 (setup) 이나 제어 시스템 없이도 온도를 정확하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 열 환경 은 또한 처리 "챔버 '전체 를 통하여 가능 한 한 균일 한 상태 로 유지 되어 있어서, 최상 의 결과 를 얻을 수 있다. 또한, 프로세서는 공정 챔버 (Process Chamber) 의 부품을 빠르고 효과적으로 냉각시키기 위해 설계된 효율적인 냉각 장비를 갖추고 있습니다. 냉각 시스템은 열 충격 문제를 최소화하도록 설계되었으며 프로세스 챔버를 단 10 초 만에 -100oC 미만의 온도로 냉각시킬 수 있습니다. 또한, 이 프로세서는 여러 모니터링 시스템을 통해 안전한 작동과 성능을 보장합니다. 여기에는 공정 챔버 (process chamber) 의 위험한 가스 수준을 모니터링하는 일산화산소 검출기, 압력 수준 (pressure level) 을 모니터링하는 압력 센서, 공정 챔버 (process chamber) 의 온도를 모니터링하는 온도 센서가 포함됩니다. 프로세서는 또한 배치 처리 기능을 사용하여 여러 프로세스를 동시에 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 여러 단계 및 매개변수가 있는 배치 프로그램 (batch program) 을 생성할 수 있으며, 이 프로그램은 순차적으로 또는 동시에 실행할 수 있습니다. 따라서 여러 프로세스가 필요한 복잡한 처리 애플리케이션에 적합합니다. 전체적으로 KORONA-1200P는 신속한 열 처리가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 첨단 기술은 정확하게 제어 가능한 난방 장치 (heating and cooling unit), 효율적인 냉각기 (cooling machine), 안전과 성능을위한 모니터링 시스템, 여러 프로세스를 동시에 제어하는 기능을 제공합니다. 이 프로세서는 빠른 열 처리가 필요한 모든 어플리케이션에 매우 안정적이고 이상적입니다.
아직 리뷰가 없습니다