판매용 중고 APSYSTEM KORONA-1200P #9315110

APSYSTEM KORONA-1200P
ID: 9315110
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Metal RTN system, 12" 2010 vintage.
APSYSTEM KORONA-1200P RTP (Rapid Thermal Processor) 는 반복 가능한 고온 프로세스 및 연관을 위해 특별히 설계된 저비용 열 효율적인 장비 상태입니다. 코로나 (KORONA) -1200P (KORONA-1200P) 의 독특하고 특허받은 빔 쉐이핑 방식을 통해 시스템은 시스템과 같은 전통적인 튜브 로의 2 배 이상의 열 균일성을 달성 할 수 있습니다. APSYSTEM KORONA-1200P의 독특한 3 단계 활성 냉각 방법을 사용하면 실온에서 최대 1200 ° C까지 다양한 온도 프로파일을 달성 할 수 있습니다. 또한 다양한 온도 및 타임 스케일 (timescale) 에 걸쳐 제어 된 열 에너지를 신속하게 전달 할 수 있습니다. 수동 엘리베이터 (manual elevator) 또는 옵션 (robotic transfer unit) 을 선택하여 챔버를 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. 코로나 (KORONA) 머신은 반복 가능한 프로덕션 실행을 위해 설계되었으며, 대부분의 유형의 열 처리 도구 및 하드웨어와 함께 사용할 수 있습니다. 표준 펠렛 피더 빈 (pellet feeder bin) 과 생산 실행 또는 단일 피스 조작을위한 고강도 도가니 (crucible) 가 제공됩니다. 또한 KORONA-1200P는 프로그램 가능한 안전 인터 록 (Safety Interlock), 과전류 보호, 드라이브 보호, 저가압 안전 차단 등의 강력한 진단 및 안전 기능을 제공하여 반복 가능하고 안정적인 작동을 보장합니다. 또한, 혁신적인 활성 냉각 기능은 향상된 열 균일성을 제공하여 수율을 극대화하고 TC/TW 불일치를 줄입니다. APSYSTEM KORONA-1200P의 닫힌 루프 (closed-loop) 프로세스 제어를 통해 로드 온도를 정확하게 제어하고 0.1 ° C 이내까지 프로세스를 반복하고 10% 이내까지 반복성을 처리할 수 있습니다. 또한 도구의 '포인트 투 포인트 (Point to Point)' 거친 온도 제어는 공정 속도와 가스 효율을 증가시킵니다. KORONA-1200P는 반복 가능하고, 정확하고, 빠르고, 신뢰할 수있는 열 처리를 찾는 사람들에게 완벽한 솔루션입니다. 컴팩트 한 디자인, 효율적인 열 성능 및 빠른 냉각 기술은 서브 미크론 열 균일성을 제공하여 가장 높은 수율, 가장 낮은 주기 시간을 보장합니다.
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