판매용 중고 APSYSTEM KORONA-1200P #9311066

APSYSTEM KORONA-1200P는 최첨단 고속 열 프로세서로, 반도체 장치 및 재료의 안정적인 열 처리를 위한 고생산성 제조 도구입니다. 이 프로세서는 빠른 어닐링, 확산 및 산화 프로세스에 탁월한 성능을 제공합니다. KORONA-1200P는 개선 된 프로세스 결과를 위해 챔버 전체에서 뛰어난 온도 균일성을 제공하고 제어합니다. 적외선 램프와 열전 냉각기의 빠른 가열/냉각 장비를 사용하여 최대 60 ° C/초, 온도 조절은 ± 2oC입니다. 강력한 플라즈마 탄화수소 증착 이온 소스는 안정적인 고성능 결과를 위해 빠른 어닐링/확산/산화 및 기타 공정 제어를 제공합니다. 이 시스템은 공정 가스의 정확한 전달을위한 자동 가스 전달 장치 (Automated Gas Delivery Unit) 와 건식 발사를위한 통합 용광로 (Integrated Furnace) 를 제공합니다. 통합 CVD 기계에는 깨끗하고 안전한 작동을 위해 질소-산소 (N2O2) 및 표준 배기 가스 물 스크러버가 포함됩니다. 또한 공정 제어를 위해 통합 DC 전원 공급 장치, VUV (Vacuum-UV photodetector) 및 QCM (quartz crystal microbalance) 이 포함됩니다. APSYSTEM KORONA-1200P에는 메뉴 작동 입력이 있는 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 있으며, 이를 통해 프로세스 매개 변수와 시동 (start-up) 을 운영자와 무관하게 설정할 수 있습니다. 사용자 조정 가능한 구성 요소와 로보틱스 (Robotics), 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 등 유연한 자동화 옵션을 갖춘 모듈식 설계를 제공합니다. 이 프로세서는 실험실 및 연구 개발 응용 분야에 이상적인 학습 솔루션을 제공합니다. 고급 소프트웨어 솔루션과 원격 제어 (Remote Control) 기능을 통해 사용자는 원격 위치에서 프로세스 매개변수를 실행, 모니터링, 관리할 수 있습니다. KORONA-1200P는 강력하고 정교하며 안정적인 빠른 열 처리 도구입니다. 고품질, 신뢰성 있는 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 제품을 빠르고 경제적으로 생산할 수 있는 최적의 솔루션입니다.