판매용 중고 APSYSTEM Korona 1200+ #9270851

APSYSTEM Korona 1200 + 은 (는) 다양한 응용 프로그램에서 웨이퍼 및 기판의 열 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 강력한 장비는 탁월한 프로세스 제어, 빠른 주기 시간, 높은 온도 정확도, 낮은 열 순환, 매우 낮은 열 오버슈트 (thermal overshoot) 를 제공하여 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 시스템은 강력한 고속 열 프로세서 챔버, 빠른 열 제어 장치, 다중 제어/감지 시스템으로 구성됩니다. 빠른 열 프로세서 챔버 (thermal processor chamber) 는 높은 진공 상태에서 작동하여 깨끗하고 반복 가능한 열 환경을 제공합니다. 8 개의 핫 존 세그먼트 (hot zoned segment) 로 가열 된 챔버는 질소 또는 아르곤을 사용하여 연료 효율이 높은 기판을 빠르게 가열하고 식힌다. 정밀 온도 제어 장치 (precision temperature control unit) 는 고급 제어 알고리즘과 웨이퍼 주변의 온도 센서를 결합하여 웨이퍼 전체에 균일 한 온도를 유지합니다. 온보드 제어/감지 시스템은 온도 프로파일의 프로그래밍 및 모니터링을위한 연산자 인터페이스를 제공합니다. 코로나 (Korona) 1200 + 의 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 운영자는 온도 정보를 실시간으로 모니터링하고 저장된 레시피에서 측정, 저장된 열 데이터를 액세스할 수 있습니다. 실시간 온도 데이터를 사용하여 열 주기 (thermal cycle) 의 정확성을 확인하거나 비작동 조건을 확인할 수 있습니다. APSYSTEM Korona 1200 + 은 전기적으로 분리 된 가열 요소와 통합 마이크로 일렉트로닉 제어 머신 (microelectronic control machine) 으로 정밀하게 구성되며, 다양한 기판 크기와 두께 범위에서 매우 정밀한 열 주기를 제공합니다. 정확한 온도 조절은 열 처리 중에 원하는 효과가 달성됩니다. Korona 1200 + 은 다양한 생산 요구 사항에 대한 신속한 열 처리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 제어 및 모니터링 시스템, 우수한 프로세스 제어 (process control), 정확한 온도 제어 (temperate control) 및 빠른 주기 (fast cycle) 를 통해 일관성 있고 반복 가능한 결과가 필요한 운영에 널리 사용됩니다.