판매용 중고 APSYSTEM Korona 1200+ #9270686

APSYSTEM Korona 1200 + 는 많은 씬 필름 응용 프로그램에서 처리량을 극대화하기 위해 설계된 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 이 장비는 고급 프로세스 제어 (process control) 기술을 통합하여 반복 가능성과 효율성을 모두 고려하여 최적화할 수 있습니다. RTP는 최신 쿼츠 서셉터 기술을 사용하며 최대 1100 ° C의 온도를 처리 할 수 있습니다. 코로나 (Korona) 1200 + 은 탁월한 처리량과 반복성을 유지하면서 소형 배치, 가변 기판, 난이도 재료를 처리하는 데 가장 적합합니다. RTP는 순수한 강화 소프트웨어 알고리즘이있는 CMOS 기반 컨트롤러를 사용하여 setpoint의 +/-2 ° C 내에서 온도 제어를 엄격하게 할 수 있습니다. 컨트롤러의 고급 PID (Advanced PID) 알고리즘을 사용하면 프로세스를 안정화하고 튜닝하여 효율성을 최적화하여 시스템의 처리량을 더욱 높일 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있는 편리한 기능과 분석/디버깅 (Debugging) 용도의 기간별 추세를 추적합니다. 이 장치는 소형 설치 공간과 견고한 구조로 설계되었으며, 공간 제약이 있는 실험실 설정뿐만 아니라 기존 반도체 (semiconductor) Fabs에 쉽게 통합할 수 있습니다. 닫힌 루프 냉각주기 (closed loop cooling cycle) 는 더 효율적으로 열을 소산시키는 데 도움이되지만, 여전히 RTP 작업에 필수적인 정확한 온도 조절을 유지합니다. 일반적으로 APSYSTEM Korona 1200 + 는 웨이퍼 레벨 프로세싱 및 복잡한 박막 프로세스 단계에서 뛰어납니다. 온도 범위의 유연성, 빠른 회전 시간, VOC 규정 준수로 인해 다양한 R&D 및 프로덕션 환경에서 인기있는 선택이되었습니다. 이 기계는 또한 빠른 열 프로그램 어닐링, 산화, 질화, 불순물 어닐링, 금속화/증착 등 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 결론적으로 Korona 1200 + 는 매우 강력한 Rapid Thermal Processor로, 수많은 박막 응용 프로그램에 효율적이고 반복 가능한 처리를 제공합니다. 고급 소프트웨어 알고리즘 (advanced software algorithm) 과 결합된 강력한 기능 세트는 탁월한 처리량으로 열 민감 기판을 안정적으로 처리 할 수있는 솔루션을 제공합니다.