판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9225981
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판매
ID: 9225981
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Wafer type: SNNF
A & B Chamber type: RTP Radiance RP vantage
A & B RTP Radiance RP vantage chamber:
Process application: Core anneal RTO & ISSG
O2 Analyzer
Lamp driver, P/N: 0190-17056
MFC 1: N2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 2: O2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 3: O2 5 slm HORIBA Stec sec-z11dm
MFC 7: H2 20 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 8: H2 3 slm HORIBA Stec sec-z514mgx
MFC 11: He 30 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 12: He 50 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 13: N2 100 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
WRLD Maglev assembly, P/N: 0190-14175
Interface options:
OHT WIP Delivery
Loadports, enhanced 25-wafer foup
OHT Light curtain
Chamber A interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07030
Chamber B interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07031
Remote options system monitor:
Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, P/N: 0395-00099
Monitor 1 cable, 25 Foot
Monitor 2: Through the wall flat panel with keyboard, P/N: 0460-50048
Monitor 2 cable, 25 Foot
Umbilicals:
Chamber AC Box to heat exchanger, 75 Feet
H/A, AMAT / APPLIED MATERIALS KVM to user interface with EVC, 25 FT
P/N: 0140-06462 / 0150-13813 / 0150-14109
Robot, YASKAWA BTV Darp manipulator, QS Vantage FI, P/N: 0220-39516
Reflective wafer on blade, P/N: 0220-39702
Cables, P/N: 0150-14109 / 0150-13813 / 0140-06462.
(2) Facility bracket / Cover
(2) Front monitors, keyboards & bezels
Exhaust line and KF flex hoses
Gasline adapter: 90° Elbows
Options & electrical requirements:
Line voltage: 200/208 V
System safety equipment
Mainframe
Process chamber options
No heat exchanger
No rough pumps
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage는 박막 고속 열 처리 어플리케이션을 위해 개발 된 고성능 고속 열 처리 장비입니다. 다양한 반도체 재료에 대해 빠르고, 고품질의 어닐링, 증착, 사전 증착 및 열 처리를 제공합니다. 이 시스템은 넓은 균일 영역 (unifority region) 과 정밀 온도 제어 (precision temperature control) 로 기판에 균일 한 온도 분포를 보장하도록 설계되었습니다. 3 개의 공정 챔버 (process chamber) 가 있으며, 각각 시장에서 가장 빠른 열 프로세서의 최고 온도 인 1200 ° C의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. AMAT 밴티지 (AMAT Vantage) 의 특허를받은 수직 반응 챔버 (Vertical Reaction Chamber) 는 핫 기판의 정확한 배치를 가능하게하며, 통합 레이저 온도 센서는 단일 버튼을 눌러 온도를 빠르고 정확하게 측정합니다. 또한, 챔버의 2 단계 수직 전달 및 수평 리프트 오프 메커니즘은 업계에서 가장 높은 처리량 및 기판 단계 크기를 허용합니다. APPLIED MATERIALS Vantage에는 최신 프로세스 제어 및 모니터링 기술도 포함되어 있습니다. 자동화된 프로세스 실행 장치 (automated process execution unit) 는 빠른 열 프로세스의 모든 단계를 자동화하여 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 공정 (process) 성능이 사용자의 정확한 요구 사항을 충족하도록 구성하고 조정하기 쉬운 여러 레시피 (레시피) 를 제공합니다. 또한 이더넷 연결을 통해 원격으로 시스템을 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로 Vantage는 사용자 친화적이며 통합이 용이합니다. 올인원 (All-in-One) 설계를 통해 빠르고 쉽게 설치할 수 있으며 복잡한 흐름 제어 하드웨어를 구축할 필요 없이 작동할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage는 전사적으로 원활한 데이터 관리를 위한 완벽한 네트워크 플랫폼을 갖추고 있습니다. 전반적으로 AMAT Vantage는 고정밀 고속 열 처리 어플리케이션에 이상적인 도구입니다. 탁월한 프로세스 온도 범위, 고급 프로세스 제어/모니터링 (process control and monitoring), 간편한 통합 기능을 통해 빠르고 정확하며 반복 가능한 프로세스 결과를 원하는 기업을 위한 완벽한 선택이 가능합니다.
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