판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9398185

AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 고급 칩 제조를 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 다양한 장치 기술에 대한 고온 처리를 제공하는 단일 웨이퍼 RTP 장비입니다. AMAT Vantage Vulcan은 다양한 웨이퍼 크기와 기판 재료를 수용 할 수 있으며, 공격적인 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 가열된 공정 챔버 전체에서 균일 한 온도를 제공하여 정확한 온도 조절 및 웨이퍼 바이 웨이퍼 일관성을 제공합니다. 그것은 독점적 인 사전 이오 니자 리온 및 사후 제거 시스템을 특징으로하며, 입자 증착을 최소화하고 주기 처리량을 최대화합니다. Vantage Vulcan에는 실시간 데이터 수집이 가능한 고급 Recipe 자동화 장치 및 OBM (On-board monitoring) 이 포함되어 있어 사용자가 신속하게 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 벌컨 (Vulcan) 의 가열기는 고급 피로미터 (Pyrometer) 를 자랑하여 최대 20 ° C/s의 온도 경사율을 달성하여 가장 빠르고 신뢰할 수있는 RTP 시스템 중 하나입니다. 또한 고급 가스 분배 도구 (Advanced gas distribution tool) 가 포함되어 있으며, 프로세스 챔버 전체에서 정확한 흐름 제어 및 균일 한 압력, 챔버 안정성 극대화 및 프로세스 정확성을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 탁월한 안정성, 열 균일성 및 반복성을 제공하여 고급 장치 제조에 이상적인 선택입니다. 빠른 변경 카세트, 간편한 웨이퍼 로딩, 자동 웨이퍼 (wafer) 지원 기능을 갖춘 간편한 설치 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 이 자산은 초전도 전마그네테더 (pre-magnetheder) 와 저가형 칠러 장치 덕분에 에너지 효율성이 높습니다. 전반적으로 AMAT Vantage Vulcan은 고성능의 안정적인 열 프로세서입니다. 탁월한 온도 균일성, 사이클 처리량, 빠른 램프 속도 (rate rate) 를 제공하여 고급 장치 제조에 이상적인 도구입니다.