판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9390649

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 다양한 반도체 응용 프로그램에 빠르고 정확한 결과를 제공하는 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 장비는 소형 폼 팩터 (compact form factor) 에서 높은 처리량과 정확성을 제공하도록 설계되었으며, 이는 기판 처리 요구를 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 300mm 디자인으로, 이 RTP는 기존 방법보다 훨씬 빠른 속도로 웨이퍼 기판의 펄스 어닐링 (pulse annealing) 및 스파이크 어닐링 (spike annealing) 을 제공 할 수 있습니다. AMAT Vantage Vulcan은 와퍼 및 기타 기판의 흐름 및 생산을 최적화하기 위해 빠른 열 처리 (RTP) 를 수행합니다. 이 시스템은 강력한 난방 및 냉각을 사용하여 최고 1250 ° C/s의 속도로 빠르게 가열하고 기판을 냉각시킵니다. Vulcan의 SAH (Submerged Arc Heating) 는 정확하고 반복 가능한 처리를 허용합니다. 이 사흐 (SAH) 는 또한 고도의 균질성을 제공한다. 즉, 열이 균등하게 분포되어 일관되고 효율적인 방식으로 정확한 목표 온도에 도달한다는 것을 의미한다. 또한, 이 장치는 최소한의 폐기물로 작고 균일 한 프로세스 균일성을 허용합니다. APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 뛰어난 다용성과 유연성을 제공합니다. 최대 6 개의 공정 레시피를 사용하여 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 2 나노미터 (2 나노미터) 의 매우 높은 해상도로 각 레이어의 두께를 정확하게 제어합니다. 이 정밀도는 생산성 수준이 매우 높습니다. 즉, 적합하지 않은 샘플을 재처리할 필요가 적기 때문입니다. 밴티지 벌컨 (Vantage Vulcan) 은 또한 모든 기판 유형에 걸쳐 반복성 변화를 크게 줄인 우수한 열 균일성을 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 조정이 필요 없으며, 생산 과정에서 생산량을 증가시키는 데 도움이 됩니다. 또한 H2, N2/O2, Ar/O2 등을 포함한 다양한 반응물 소스를 선택할 수 있습니다. 이것은 고급 금속 산화물 (advanced metal oxides) 을 포함한 다양한 재료 및 공정 유형에 적합합니다. 전반적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 빠르고 정확한 열 처리를 제공하기 때문에 웨이퍼 및 기판 처리 요구에 이상적입니다. 뛰어난 열 균일성 (thermal uniformity) 과 균일성 (homogeneity) 뿐만 아니라 높은 처리량과 최대 정확도를 제공하도록 최적화된 설계를 갖추고 있습니다. 또한, 다양한 프로세스 레시피 및 반응성 소스를 통해 뛰어난 다용성과 유연성을 제공합니다. 이 도구는 작고 효율적이어서 비용 효율성이 높습니다.