판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9359551

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 고정밀 반도체 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 도구는 뛰어난 입자 및 입자 없는 운영 (particle-free operation) 을 통해 높은 가열률과 뛰어난 균일성을 자랑하며, 국제 표준 및 기술 성능 기준을 충족합니다. 어닐링, 활성화 및 기타 프로세스 단계에 사용됩니다. AMAT Vantage Vulcan (Vantage Vulcan) 은 극도로 순수한 질소로 가압되어 오염을 제거하고 고품질 제품을 생산하기위한 안정적인 환경을 제공하는 헤르메틱 밀폐 챔버로 구성됩니다. 공정 챔버에는 원하는 온도를 달성하기 위해 적외선 램프를 통해 가열되는 서셉터 (susceptor) 가 포함되어 있습니다. 이것은 압력 제어기와 결합하여 반복 가능한 난방 속도와 균일 성을 유지합니다. 예를 들어, 2 구역 히터는 상단 온도와 하단 온도를 모두 제어합니다. 또한, 가스 매니 폴드는 효율적인 압력 제어를 위해 정확한 흐름 제어를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 일반적으로 LCD, OLED 및 반도체와 같은 복잡한 장치 제조에 사용됩니다. 이 시스템은 최대 1200 ° C의 온도를 정확하게 제어할 수 있으며, 난방 속도와 냉각 속도가 매우 빠릅니다. 프로세스 제어를 극대화하고 다양한 안전 기능을 갖춘 실시간 컨트롤러 (소프트웨어 내장) 를 갖추고 있습니다. 다양한 재료와 웨이퍼 (wafer) 크기를 수용하도록 구성할 수 있습니다. 또한, Vantage Vulcan은 입자 영향이 적고 입자가없는 뛰어난 작동이 가능한 신뢰할 수있는 시스템입니다. 이 시스템은 30,000 개가 넘는 열 주기 (thermal cycle) 의 보장 사이클 수명 (guanted cycle life) 에 의해 뒷받침됩니다. 즉, 정기 유지 보수가 필요하지 않고도 반복적으로 사용할 수 있습니다. 고도의 정확성과 정확성으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 복잡한 장치 제조에 이상적인 솔루션이며, 생산성과 생산성을 높이는 비용 효율적인 방법입니다.