판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9355344

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan Rapid Thermal Processor는 고급 반도체 기술의 엄격한 요구를 충족하도록 설계된 생산 등급, 자체 포함, 빠른 열 프로세서입니다. 최대 1350 ° C의 온도에서 15 초 이하의 시간을 등록 할 수 있습니다. Vulcan은 제어 환경 내에 RTP (Rapid Thermal Processor) 가 장착된 단일 엔클로저로 구성됩니다. RTP는 특허를받은, 직접 공기 기술과 함께 집중열 (focused heat) 을 사용하여 최대 300mm의 웨이퍼에 균일하고 반복 가능한 온도 프로파일을 신속하게 제공합니다. LP (Low-EOM), DRAM, SRAM, 플래시 및 기타 메모리와 같은 여러 가지 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 벌컨 (Vulcan) 은 작동하기 쉽고 프로세스 온도, 램프 속도, 기판 이동 속도 등 매개변수가 잘 정의된 여러 프로세스 레시피를 실행하도록 구성할 수 있습니다. 프로세스 반복성과 정확성은 AMAT EnGen 열 프로세스 제어 소프트웨어 (thermal process control software) 를 통해 작성 및 모니터링되는 레시피를 통해 보장됩니다. 또한, Vulcan (Vulcan) 은 일관성이 높고 신뢰할 수 있는 스캐닝 시스템을 통합하여 프로세스 프로필의 세부 사항을 더욱 철저히 보장합니다. Vulcan은 열 순환 시간을 줄여 처리량을 높이고 효율성을 향상시킵니다. 또한 charge pumping, dopant diffusion, storage node manufacturing, thermal oxidation, low-EOM processing, polysilicon doping 등 다양한 메모리 솔루션의 까다로운 요구 사항을 충족하는 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. Vulcan 은 Wafer 의 빠르고 효율적인 진입/종료 방식의 Cleanroom 통합을 허용하지만, 모든 프로세싱은 엔클로저 내에서 수행됩니다. 장기 신뢰성을 보장하기 위해 중량 재료로 제작되었습니다. 또한, 동봉 된 디자인은 오염을 최소화하고, 효율적인 폐기물 및 열 관리를 용이하게 하는 독립된 처리를 가능하게 합니다. 벌컨 (Vulcan) 은 믿을 수 없을 정도로 안정적이고 효과적인 빠른 열 프로세서이며, 컴팩트 한 디자인으로 오늘날의 고급 메모리 (advanced memory) 솔루션 생산에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 일관되고 반복 가능한 처리 기능을 제공하며, 비용 효율성이 매우 높아 장기적인 비용 절감 효과를 제공합니다.