판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9293645

AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan
ID: 9293645
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2014 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage 벌컨 (Vantage Vantage Vulcan) 은 광범위한 온도 범위 내에서 다양한 특정 프로세스 온도에서 빠른 온도 램프 속도를 제공하도록 설계된 빠른 열 처리 장비입니다. 처리 용도로 기판을 빠르게 가열하거나 냉각시키는 데 사용됩니다. 이 시스템에는 가열 캐비닛, Zeus RTP 컨트롤러, 용광로 모듈, 컴퓨터 컨트롤러 및 소프트웨어 인터페이스가 장착되어 있습니다. 가열 캐비닛은 기판에 제어 가열을 제공하도록 설계되었습니다. 그것 은 독특 한 "바이패스 '흐름 장치 와 균일 하고 균일 하게 분포 된 뜨거운 공기 의 흐름 을 위한 절연 벽 을 가지고 있다. 가열된 캐비닛은 특정 온도 요구를 수용하기 위해 조정이 가능하므로, 매번 품질, 반복 가능한 결과를 보장합니다. 제우스 RTP (Zeus RTP) 컨트롤러는 열 처리 중 기판 온도, 램프 속도 및 압력을 정확하게 조절하고 제어하도록 설계되었습니다. 조정 가능한 가스압, 고온 기능, 조정 가능한 프로세스 매개 변수 및 사용자 정의 가능한 메뉴가 있습니다. 즉, 프로세스 정확성과 반복 능력을 향상시켜 재현성을 높이고 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 용광로 모듈 (furnace module) 은 고온 열원으로, 다양한 처리 매개변수에 대해 조정 할 수 있습니다. 모든 과정에서 신뢰할 수있는 온도 조절 및 균일 한 온도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 균일성과 안정성을 보장하기 위해 온도 조절 기계가 있습니다. AMAT Vulcan 컴퓨터 컨트롤러는 RTP 컨트롤러 및 Zeus CPU와 실시간으로 통신하므로 시간, 온도, 압력 설정을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 툴은 데이터 수집 및 스토리지 기능도 제공합니다. 소프트웨어 인터페이스를 통해 Vulcan 프로세스를 쉽게 관리하고 제어할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 다양한 메뉴와 데이터 입력 옵션 (data entry options) 이 포함되어 있으며, 운영자 오류를 최소화하도록 설계되었습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 데이터 분석, 프로세스 시뮬레이션, 레시피 관리 (recipe management) 기능을 통해 프로세스를 최적화하여 보다 나은 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT Vantage Vulcan (Vantage Vulcan) 은 정밀한 온도 조절 및 짧은 처리 시간이 필요한 신속한 열 처리 어플리케이션을 위한 완벽한 솔루션입니다. 이 자산에는 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능 (Features) 이 장착되어 있어 안정적인 결과를 얻을 수 있으며 열 처리를 최대한 활용할 수 있습니다.
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