판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #293754435
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ID: 293754435
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 기존 열 처리에 대한 고성능, 비용 효율적인 대안을 제공하는 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 반도체 및 평면 패널 디스플레이 (FPD) 응용 분야에 사용되는 AMAT Vantage Vulcan은 RTA (Rapid Thermal Annealer) 와 RIE (Reactive Ion Etch) 장비를 결합하여 현장 플라즈마 에치 및 Anneal 작업을 허용합니다. 응용 자료 (APPLIED MATERIALS) 밴티지 벌컨 (Vantage Vantage Vulcan) 은 고급 반도체 또는 평면 패널 디스플레이 컴포넌트의 제조에 중요한 빠른 열 프로세스뿐만 아니라 뛰어난 품질 필름 및 표면 처리를 달성 할 수 있습니다. Vantage Vulcan (Vantage Vulcan) 의 향상된 처리량 성능은 다른 기존 열 프로세서에 비해 생산성을 높이고 처리 시간을 단축해 줍니다. 이 시스템은 높은 수준의 열 균일성과 정밀 열 제어 기능을 제공하는 고급 다중 영역 제어 (Multi-Zone Control) 를 통해 설계되었으며, 비용 효율적인 운영을 유지하고 탁월한 ROI (투자 수익) 를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 또한 압력, 가스 흐름, 온도, 처리 시간 및 기타 매개 변수에 대한 다중 영역 제어를 통합하여 매우 정밀한 플라즈마 공정 제어를 가능하게합니다. AMAT Vantage Vulcan은 또한 원자층 증착 (ALD) 및 화학 증착 (CVD) 과 같은 다양한 고급 공정 기술과 함께 사용할 수 있습니다. 최신 플라즈마 강화 (plasma-enhanced) 프로세스를 사용하여이 장치는 열 스트레스를 최소화하여 필름 접착 및 전기 성능을 향상시켜 우수한 필름 균일 성을 얻을 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 다른 장비와 통합하여 배치 처리 기능을 제공하여 생산성을 높일 수 있습니다. 이 기계 는 고속 "냉각 '과 난방 속도 로 많은 수 의 기판 을 신속 하고 효율적 으로 처리 하는 데 이상적 이지만, 높은 균일성 을 유지 한다. 또한, 이 도구는 다양한 공정 챔버 (process chamber) 에서 작동 할 수 있으므로 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 전반적으로, Vantage Vulcan은 생산성, 최적 프로세스 균일성 및 프로세스 제어를 극대화하기 위해 설계된 고도의 열 프로세스 자산입니다. 이 모델은 특히 빠른 열 처리 또는 고품질 필름 처리가 필요한 응용 분야에 적합합니다. 운영 비용이 저렴하고 처리량이 향상된 AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 반도체 및 평면 패널 디스플레이 산업의 주요 제조업체에 의해 점점 더 채택되고 있습니다.
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