판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #293706716
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ID: 293706716
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan ™ 은 가장 높은 열 처리 정확성과 반복 가능성을 제공하도록 특별히 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 고급 장비는 다양한 열 처리 (thermal processing) 어플리케이션에서 높은 성능과 비용에 민감한 솔루션을 보장합니다. AMAT Vantage Vulcan은 첨단 가스 관리 기술과 고정밀 동작 제어 (high-precision motion control) 의 혁신적인 조합을 사용하여 최고 수준의 온도 균일성과 정확한 온도 변화율 성능을 제공합니다. 고효율적이고 저렴한 설계로 산화, 질화, 확산, 어닐링, 증착 등 다양한 열 처리 요구에 적합합니다. APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan (APPLIED Vantage Vantage Vulcan) 에는 운영자가 열 프로세스의 매개변수를 신속하게 구성하고 조정할 수 있는 정교한 사용자 인터페이스도 있습니다. Vantage Vulcan (Vantage Vulcan) 은 다양한 열 프로세스를 동시에 수행할 수 있는 작은 설치 공간으로 최대의 유연성과 다용성을 제공합니다. 최대 3 개의 독립 온도 영역을 제공하며, 각각 배치 (batch) 또는 연속 처리 (continuous processing) 모드에서 작동 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan의 고급 제어 시스템은 웨이퍼 수준에서 온도를 정확하게 제어하여 최고의 정확성과 반복성을 보장합니다. 종속 연결된 온도 포인트 (Cascaded temperature point) 는 웨이퍼 레벨에서 모니터링되어 정확한 프로파일 일치를 위해 온도가 단단히 조절됩니다. AMAT 밴티지 불칸 (Vantage Vulcan) 의 맞춤형 가스 혼합 및 전달 장치는 산소와 질소의 조절 된 가스 흐름을 사용하여 반복 가능하고 예측 가능한 증착을 보장합니다. 가스 제어 기계는 또한 프로세스 균일성을 향상시키기 위해 기판에 향상된 자동 가스 전달 (automated gas delivery) 을 사용합니다. APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan은 다양한 열 프로세스 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다. 첨단 설계와 기술로 모든 열 처리 어플리케이션 (thermal processing application) 을 위한 신뢰할 수 있는 솔루션으로, 품질과 반복 가능한 결과를 일관되게 제공합니다.
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