판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance #9258550

AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance
ID: 9258550
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Sputtering system, 12" Process: IMP 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance는 고급 고속 열 프로세서로, 박막 증착, 산화 및 도핑과 같은 중요한 단계에 대한 정확한 열 처리를 갖춘 고속 반도체 및 평면 패널 디스플레이 (FPD) 제조업체를 제공하도록 설계되었습니다. 다른 열 장비보다 높은 처리량을 가진 AMAT Radiance 장비는 최고 1200 ° C (최대 25kW 와트) 의 균일성과 반복성을 제공합니다. 2 구역 설계는 더 큰 웨이퍼 크기와 더 빠른 처리 속도를 가능하게하며, 정밀도가 높은 전자 스캐닝 미러 (전자 스캐닝 미러) 는 균일성 (unifority) 을 위해 매우 매끄러운 움직임을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Radiance는 또한 매우 사용자 정의할 수 있으며, 특정 요구에 맞게 온도, 전력, 주기 시간 등의 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한, Radiance 시스템은 사용자에게 다른 열 장비에는 없는 여러 가지 다른 기능을 제공합니다. 디지털 스캔 보정을 통해 사용자는 원하는 패턴에 정확하게 초점을 맞출 수 있으며, 수직 (vertical) 및 수평 (horizontal) 스캐닝 정확도가 일치하지 않습니다. 또 다른 독특한 특징은 이중 빔 (Dual-beam) 전원 공급 장치 (Power Delivery Unit) 로, 두 개의 개별 경로를 통해 샘플에 전원을 공급하여 프로세스 중에 더 높은 제어를 허용합니다. 또한, 가스 흐름 모니터링 (gas-flow monitoring) 및 적외선 안전 셔터 (infrared safety shutter) 와 같은 고급 안전 기능은 사용자가 항상 유해한 상태로부터 보호되도록 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Radiance에는 대형 방열판, 수명 연장 셔터 및 기계적 구성 요소 덕분에 유지 보수가 적은 설계도 포함되어 있습니다. 강력한 프레임은 내구성을 보장하는 반면, 동적 프로파일 컨트롤러 (옵션) 는 다양한 기판에 빠르게 적응할 수 있습니다. 마지막으로, 완전 자동 로드 잠금 장치 (Fully Automated Load Lock) 는 운영자에게 편리함과 운영 처리량을 모두 제공합니다. 따라서 AMAT Radiance는 프로세스의 정확성과 안전을 저해하지 않고 빠르고 정밀한 열 처리를 요구하는 반도체 (semiconductor) 및 FPD 사용자에게 완벽한 선택입니다. 고급 기능과 검증된 신뢰성을 갖춘 APPLIED MATERIALS Radiance 머신은 완벽한 열 솔루션입니다.
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