판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Microwave #293829241
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ID: 293829241
웨이퍼 크기: 12"
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
EFEM
MF
(4) Chambers
(4) Racks.
AMAT/APPLIED MATERIALS Microwave는 반도체 산업의 주요 장비 제조업체 인 AMAT 또는 APPLIED MATERIALS Inc.에서 개발 한 최첨단 빠른 열 처리 기술입니다. AMAT 마이크로파 에너지 (AMAT Microwave Energy) 를 사용하여 반도체 웨이퍼를 정확하고 균일하게 가열하여 반도체 제작에서 효율적이고 고성능 열 처리를 가능하게하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Microwave Rapid Thermal Processor는 반도체 웨이퍼 가열을위한 1 차 열원으로 Microwave 에너지를 사용하여 전통적인 열 처리 기술에 비해 몇 가지 이점을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 마이크로파 에너지 (AMAT/APPLIED MATERIALS Microwave energy) 를 사용하면 웨이퍼 표면의 빠르고 균일한 가열이 가능하므로 처리 중 온도 프로파일과 열 예산을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 따라서 프로세스 균일성이 향상되고, 주기가 단축되며, 디바이스 성능과 안정성이 향상됩니다. AMAT Microwave 빠른 열 프로세서의 기본 원리는 유전체 가열 메커니즘을 통해 열을 생성하는 반도체 재료에 의해 APPLIED MATERIALS Microwave 에너지의 효율적인 흡수입니다. "마이크로 '파" 에너지' 는 높은 유전체 상수 와 손실 탄젠트 로 인하여 "반도체 '재료 를 가열 하는 데 매우 효율적 이며, 그 결과 주변 환경 의 과열 없이" 웨이퍼' 표면 을 신속 하고 선택적 으로 가열 한다. AMAT/APPLIED MATERIALS 마이크로파 고속 열 프로세서 (Rapid Thermal Processor) 에는 열 처리 매개변수에 대한 정확한 온도 조절 및 실시간 모니터링이 가능한 고급 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장비는 온도를 빠르게 올리고 램핑할 수 있으며, 고출력 반도체 제조에 필수적인 빠른 가열 (fast heating) 과 냉각 (cooling) 주기를 가능하게 합니다. AMAT 마이크로파 고속 열 프로세서 (AMAT Microwave Rapid Thermal Processor) 의 주요 기능 중 하나는 전체 웨이퍼 표면에서 온도 균일성을 달성하여 프로세스 결과와 디바이스 성능을 일관되게 유지하는 기능입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 표면의 온도 그라디언트 (gradient) 와 핫스팟 (hot spot) 을 최소화하여 프로세스 반복성이 향상되고 장치 특성의 변동성이 저하되도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Microwave Rapid Thermal Processor는 온도 균일성 외에도, 대용량 반도체 생산에 중요한 뛰어난 프로세스 반복성과 재생성을 제공합니다. 이 장치의 정확한 온도 조절, 신속한 난방 및 냉각 기능, 실시간 모니터링 및 피드백 (feedback) 메커니즘은 일관되고 안정적인 프로세스 결과에 기여하여 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족시킵니다. 또한, 마이크로파 고속 열 프로세서 (Microwave Rapid Thermal Processor) 는 다양한 반도체 재료 및 프로세스와 호환되며, 반도체 제작의 다양한 애플리케이션을 위한 다용도 및 비용 효율적인 솔루션입니다. 어닐링 (annealing), 산화 (oxidation), 확산 (diffusion) 또는 기타 열 프로세스에 사용되든, 기계는 다양한 웨이퍼 크기, 재료 및 공정 요구사항을 수용할 수 있으며, 반도체 제조에서 유연성과 확장성을 제공할 수 있습니다. 결론적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Microwave rapid thermal processor는 반도체 제조를위한 최첨단 열 처리 솔루션을 대표하며, 기존의 열 처리 기법과 비교하여 탁월한 성능, 안정성 및 효율성을 제공합니다. 고급 AMAT 마이크로파 (AMAT Microwave) 기술, 정확한 온도 조절, 균일 한 난방 기능을 갖춘 이 툴을 통해 반도체 제조업체는 높은 수율, 빠른 주기, 향상된 장치 성능을 달성하여 반도체 기술의 발전에 기여했습니다.
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