판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPN+ Radiance #9263061

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN + Radiance는 고급 프로세스 제어 및 안정적이고 반복 가능한 열 프로세스를 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 최대 1500 ° C의 빠른 열 처리로 실온과 1000 ° C 이상의 균일 한 온도를 적용 할 수 있습니다. Radiance 장비에는 강력한 대류 난방 시스템이 장착되어 있으며, 루프 공기 재순환 장치와 함께 Radiant Heat Transfer (RHT) 기술이 통합되어 있습니다. 이렇게 하면 가열 및 냉각이 빨라져 주기가 짧아지고 온도 램프 속도 (rate rate) 제어가 정확해집니다. Radiance 기계는 또한 열적 차이가 낮고 온도 제어 정확도가 단단한 우수한 온도 균일성을 제공합니다. Radiance 도구는 고급 모니터링 및 제어 기능을 갖추고 있습니다. 통합 RMS (Recipe Management Asset) 는 단일 웨이퍼에서 수백 웨이퍼에 이르는 배치 크기에 대한 정확한 프로그래밍 가능한 레시피를 제공합니다. AMAT DPN + Radiance 의 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 는 소프트웨어 다운로드를 통해 향후 업그레이드를 가능하게 하며, 다양한 제조 환경에서 확장성과 유연성을 제공합니다. 이 모델은 최적의 열 프로세스 제어를 위해 실시간 튜닝을 수행 할 수도 있습니다. Radiance 장비는 견고하고 고품질의 재료를 활용하여 운영 및 수명을 효율적으로 유지합니다. 키가 큰 대기 챔버 (atmospheric chamber) 는 고온 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 최적의 단열을위한 세라믹 및 쿼츠 부품이 늘어서 있습니다. 진공 조임 수직 슬라이딩 도어 (vacuum tight vertical sliding door) 는 웨이퍼 로딩 및 언로드에 쉽게 액세스 할 수 있으며, 공기 흐름 시스템은 빠르고 균일하게 가열되는 IR 방사선 방법과 결합됩니다. Radiance 장치는 또한 뛰어난 온도 균일성 및 반복성을 위해 듀얼 HiPIMS 소스 (옵션) 를 제공합니다. HiPIMS 기술은 알루미늄 층 표면에서 산화를 감소시키는 동안 온도 균일성을 높이는 데 사용될 수있다. 또한 Radiance 머신에는 주변 압력 제어 (ambient pressure control) 및 온도가 높은 보호 (over-temperature protection) 와 같은 통합 안전 기능이 포함되어 있어 모든 구성 요소 및 인원의 안전을 보장합니다. APPLIED MATERIALS DPN + 레이던스 (Radiance) 도구를 사용하면 반복 가능하고 신뢰할 수있는 열 프로세스를 통해 광범위한 제조 응용 프로그램에서 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 기능과 신뢰할 수 있는 컴포넌트를 통해 최적의 정밀한 열 반응, 높은 생산량을 얻을 수 있습니다.