판매용 중고 ALLWIN21 AWgage 200 #9201797
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ID: 9201797
웨이퍼 크기: 4"- 8"
Metal film metrology system, 4"- 8"
Main frame
Measurement head
Non-contact sheet resistance measurement
Measurement range: 1m W/sq to 19,990 W/sq
Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability
Wafer carriage travel programmed:
With internal encoder step motor
Without encoder disk
Test sights:
Single center-point
(5) Points
(9) Points
Highly conductive or metal sheet resistance:
1 to 1,999 mW/sq
1 to 1,999 W/sq
10 to 19,990 W/sq
Highly conductive or metal film thickness minimum:
100Å (Ångström) Maximum:
Proportional to resistivity
Maximum for a resistivity of 2.7 mW: 270 kÅ (27 mm)
Sheet resistance repeatability:
Range s/X (±%)
1 to 100 mW/sq 1
100 to 500 mW/sq 2
500 to 1000 mW/sq 4
1000 to 1,999 mW/sq 6
1,999 to 5,000 W/sq Consult factory
5000 to 10,000 W/sq Consult factory
10,000 to 15,000 W/sq Consult factory
Boards:
RF Tank circuit
Pentium® class computer
Main control
Motor control
Ports:
(2) USB
(2) Extra DB9
Touch screen GUI, 15"
Mouse & keyboard
Room temperature: 23° C
Power:
50/60Hz
Single phase
110/220VAC
2 Amps
CE Marked
Wafer loading: Manual.
ALLWIN21 AWgage 200은 다양한 반도체, 광자 및 LED 제조 공정에서 재료를 빠르게 가열, 냉각 및 전송하도록 설계된 빠른 열 프로세서입니다. AWgage 200은 최대 1,800 ° C/min의 속도로 극심한 온도를 달성 할 수 있으므로 많은 온도 의존 응용에 적합합니다. 이 장비의 독보적인 다이 (die) 및 웨이퍼 (wafer) 기반 열 기술은 부품 무결성을 유지하면서 프로그래밍, 처리 및 주기 시간을 줄이는 데 도움이 됩니다. 유연성은 다양한 방향 난방 (directional heating) 및 냉각 (cooling) 작업뿐만 아니라 다양한 프로그래밍 가능한 온도를 제공합니다. ALLWIN21 AWgage 200은 다양한 반도체 및 광자 기판, 실리콘 웨이퍼, 산화 알루미늄, 사파이어, 석영 및 다이아몬드 기판을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 첨단 열 제어 (thermal control) 기술을 통해 정확한 온도 영역 관리 및 정확한 온도 상승률을 통해 잘 정의 된 온도 프로파일을 만들 수 있습니다. 이 시스템에는 진공 제어 주변 압력 챔버 (vacuum-controlled ambient pressure chamber), 극저온 냉각 기능 및 별도의 펌프 및 처리 모듈이있는 교환 가능한 재료 처리 장치도 있습니다. AWgage 200 은 사용자 친화적인 컨트롤 머신 (control machine) 으로 설계되어 전체 열 프로세스를 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 이 도구의 지속적인 모니터링 및 보고 기능을 통해 자산 운영, 온도 조절, 주기 (cycle) 에 대한 상세한 실시간 업데이트를 제공합니다. 또한, 터보 충전 공기 흐름 (Turbo-Charged Air Flow) 기능은 열 프로세서에서 가열된 부품을 빠르게 냉각시켜 오류 없는 포스트 프로세스 부품을 허용하여 프로세스 일관성을 유지합니다. ALLWIN21 AWgage 200은 강력하고, 안정적이며, 유연한 열 프로세서로, 정밀한 온도 조절, 초고속 난방 및 냉각 기능, 다양한 재료를 신속하게 처리하기 위한 균일 한 난방/냉각 커버리지를 제공합니다. 우수한 열 엔지니어링 기능을 갖춘 AWgage 200은 다양한 고성능 열 프로세스 (HPP) 에 이상적인 솔루션입니다.
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