판매용 중고 ALLWIN21 AW 901e #9201818
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ID: 9201818
웨이퍼 크기: 3"-6"
TTW Plasma etcher, 3"-6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Stationary cassette plate
Plasma power: RF 13.56 MHz
Type: Parallel / Single wafer process
Through the wall (TTW)
Gas lines: 1-3 Lines
Throughput: 30-60 WPH, Process dependent
Temperature: 6-65ºC (±2 ºC) Capability
Gas lines: (4) Gas lines with MFCs
Etcher rate:
AW-901eR: 0-8000A / minute
AW-903eR: 0-4000A / minute
Process dependent
Uniformity: Up to ±3%, Process dependent
Particulate: <0.05 / cm2
Selectivity:
901eR: 2-20:1
AW-903eR: 2-20:1
Process dependent
MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours
Options:
EOP Module with PCB
GEM/SECS II Function
Lamp tower alarm with buzzer
Throttle valve pressure control
Vacuum pump
Chiller for chuck and chamber
Through the wall
Main frame, standard
Pentium class PC with
Keyboard
Mouse
USB
SW Backup
Cables
Chuck:3"-6"
Wafer aligner / Cooling station
3-Axis integrated solid robot:
H-Zero (Standard)
H1-7 x 10.5 (TTW)
Fixed cassette station:
Chuck assembly
901eR Non-anodized
903eR Anodized with flat
903eR Anodized with flat
903eR Non-anodized with flat
Reactor Assembly:
901eR Non-anodized
903eR Anodized
903eR Non-anodized
903eR High performance
Direct cooling
Non direct cooling
Pins:
Quartz
Ceramic SST
Centering ring:
Aluminum
Ceramic
Main control board:
Gas box with (4) inline gas lines, MFC, filters, and pneumatic valves
RF Matching network with PCB
RF Generator: 13.56 MHz
MKS Elite: 300 HD
MKS Elite: 600 HD
MKS Elite: 1000 HD
ENI ACG 3
ENI ACG 10
AC / DC Box
ATM Sensor
UPC Pressure control
225 SCCM: 901eR
2000 SCCM: 903eR
MKS Baratron with peumatic Iiolation valve
Main vacuum valves
Front EMO interlocks
Touch screen GU, 15"
AW-901eR AW-903eR
Material Etched Polysilicon / Nitride Oxide,SOG,Nitride
Main etchant gases SG6, O2 / SF6,O2 CHF3,SF6,He
Other gases CHCLF2 / None None
Pressure (mTorr) 200-450 / 250-350 1600-3000
RF Power (Watts) 100-250 / 200-300 400-600
Temperature (C) 30 / 30 23
AC Power:
AC Module: 200-240 VAC Selectable, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Temperature controller: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 3-wire single-phase
Vacuum pump: 208-230 / 460 VAC, 60 Hz or 200-220 / 380 VAC, 50Hz, 3 Phase
RF Generator: 200-240 VAC
PC / Monitor: 115 VAC
Cabinet exhaust: 100 cfm.
ALLWIN21 AW 901e는 다양한 기능을 갖춘 빠른 열 프로세서 (RTP) 로, 특히 재플로우 솔더링 응용 프로그램에 유용합니다. 재흐름 솔더링에서 솔더 페이스트가 보드 및 컴포넌트에 적용됩니다. 그런 다음, "솔더 '를 녹이고 믿을 만한 전기 연결 을 만들기 위하여" 보오드' 위 에 "보오드 '를 놓고 고온 으로 가열 된다. AW 901e는 빠른 주기 시간 및 고온의 RTP (Rapid Thermal Processing) 를 제공하도록 설계되어 이러한 유형의 응용 프로그램에 적합합니다. ALLWIN21 AW 901e의 최대 가열 온도는 350 ° C이며, 이는 시장의 다른 많은 RTP보다 높습니다. 이 고온 은 "솔더 '가 신속 히 녹고 전기 연결 이 신뢰 할 수 있게 해 준다. 최대 챔버 크기는 24 "x24" 이며 더 큰 응용 프로그램에 적합합니다. 가열 요소는 세라믹 적외선 히터로, 에너지 비용을 절감하고 높은 온도 정확도를 제공합니다. 이 장치에는 3 개의 온도 프로그램이 장착되어 있어 제조 공정의 유연성이 있습니다. AW 901e는 안전과 효율성을 모두 고려하여 설계되었습니다. 이 장치에는 처리 중 적절한 기압을 보장하는 압력 스위치 (Pressure Switch) 가 포함되어 있으며, 이 스위치는 불이 납북되지 않도록 도와줍니다. 냉각 시스템은 챔버 (chamber) 의 온도 그라디언트 (gradient gradient) 를 최소화하도록 설계되어 컴포넌트가 과열되지 않고 손상되도록 도와줍니다. 이 장치에는 PID 온도 컨트롤러도 포함되어 있어 정확한 온도 조절 및 안정성을 보장합니다. ALLWIN21 AW 901e는 매우 효율적이며 균일 한 가열을 제공합니다. 빠른 주기 (cycle time) 덕분에 인건비 (인건비) 를 절감할 수 있습니다. 사용 편의성 (Eusy of Use) 은 생산에 이상적이며, 저렴한 비용으로 인해 많은 기업에게 매력적인 옵션이 됩니다. 전반적으로 AW 901e는 빠른 가열 시간과 균일 한 가열로 고성능 RTP를 제공합니다. 최대 350 ° C 온도의 경우, 재플로우 (Re-Flow) 솔더링 어플리케이션에 적합하며, 안전과 효율성을 위해 설계된 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 또한 비용 효율적이고 사용이 간편한 솔루션으로, 납품 프로세스 (Soldering Process) 를 간소화하려는 기업에게 적합한 솔루션입니다.
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