판매용 중고 ALLWIN21 AccuThermo AW 810M #293725030

ID: 293725030
빈티지: 2008
Rapid Thermal Processor (RTP) (4) MFC (4) Process gases QUARTZ Tray 2008 vintage.
ALLWIN21 AccuThermo AW 810M은 고급 반도체 제조 공정의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 고속 열 프로세서입니다. 이 정교한 장비는 정밀 온도 제어 (precision temperate control) 와 빠른 열 어닐링 (thermal annealing) 기능을 결합하여 마이크로 칩 및 기타 전자 장치의 생산에 사용되는 반도체 재료의 정밀 난방 및 냉각 주기를 가능하게합니다. AW 810M (AW 810M) 의 핵심에는 고급 난방 기술 (Advanced Heating Technology) 이 있는데, 고성능 램프 어레이를 사용하여 반도체 웨이퍼의 빠르고 균일 한 난방을 달성합니다. 이 장비는 빠른 램프 업 (ram-up) 시간을 제공하여 빠른 온도 안정화와 프로세스 지연을 최소화합니다. 이렇게 하면 일관성 있고 재생 가능한 열 처리 (thermal processing) 가 보장되며, 반도체 제조에 필요한 높은 수준의 정밀도를 달성하는 데 중요합니다. AW 810M (AW 810M) 의 주요 기능 중 하나는 정밀한 온도 조절 시스템으로, 고급 PID (Proportional-Integral-Derivative) 알고리즘을 사용하여 처리 주기 내내 원하는 열 프로파일을 유지합니다. 이 제어 수준 (level of control) 은 고급 반도체 제조 공정에 필요한 단단한 온도 공차를 달성하는 데 필수적입니다. 또한 AW 810M 은 급속한 난방 기능 외에도 정밀한 냉각 기능 (cooling function) 을 제공하며, 냉각 속도를 제어하여 충격 (thermal shock) 을 방지하고 처리된 웨이퍼의 신뢰성을 보장합니다. 이것은 갑작스런 온도 변화에 민감 할 수있는 섬세한 반도체 재료에 특히 중요합니다. AW 810M (AW 810M) 에는 연산자에게 처리 매개변수에 대한 직관적인 제어를 제공하는 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 장치는 프로그래밍 가능한 레시피를 허용하며, 사용자는 각기 다른 반도체 재료 및 프로세스의 요구 사항에 맞춘 특정 열 프로파일 (specific thermal profile) 을 정의 할 수 있습니다. 이러한 다재다능성으로 인해 AW 810M은 반도체 제조에서 광범위한 응용 분야에 적합합니다. 또한, AW 810M은 까다로운 제조 환경에서 장기적인 안정성과 일관된 성능을 보장하는 강력한 아키텍처를 갖추고 있습니다. 이 기계는 지속적인 운영 (continuous operation) 에 견딜 수 있도록 설계되어 대용량 생산 시설의 신뢰할 수있는 작업마입니다. 안전성 측면에서 AW 810M에는 여러 개의 인터 록 (interlock) 과 경보기가 장착되어 있어 과열 방지, 운영자 안전 보장 등이 가능합니다. 또한 진단 및 모니터링 기능이 내장되어 있어 사전 예방적 유지 보수 작업을 원활하게 수행하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 AccuThermo AW 810M은 반도체 제조에서 빠른 열 처리를 위한 최첨단 솔루션입니다. 첨단 난방 기술, 정밀 온도 제어 (Precise Temperature Control), 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 의 조합으로 뛰어난 안정성과 정확성을 갖춘 고성능 반도체 장치를 생산할 수 있는 귀중한 도구입니다.
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