판매용 중고 ALLWIN21 AccuThermo AW 610 #9356939
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ID: 9356939
빈티지: 2015
Rapid Thermal Processor (RTP)
KOFLOC 3660 Mass Flow Controller (MFC) N2, 10 SLM
ASCO 8210B020 Valve (Model 8461)
AW-610-810 Main control board (P/N 2100-0900-058)
THOMAS PRODUCTS 2100 Flow switch
2015 vintage.
ALLWIN21 AccuThermo AW 610은 중소형 다이 크기에서 가장 높은 처리량을 제공하도록 설계된 초고속 열 프로세서입니다. 0.5 x 0.5mm IC 및 30 x 30mm 정도의 크기로 처리 할 수 있습니다. 최대 난방 속도는 25 ° C/sec, 최대 냉각 속도는 15 ° C/sec입니다. ALLWIN21 AW 610의 주요 장점은 처리량, 정확성 및 반복성입니다. 그 높은 처리량 은 특별 히 조정 된 "히터 '를 사용 하여 급속 히 가열 하고" 다이' 를 급속 히 식히는 혁신적인 난방 개념 에 의하여 달성 된다. 즉, 다이가 원하는 온도에 빨리 도달하여 표준 열 프로세서 (standard thermal processor) 의 느린 램프 속도를 기다릴 필요가 없습니다. 정밀도는 고정밀도 온도 컨트롤러 (temperate controller) 에 의해 제공되며, 이는 온도를 정확하게 측정하고 꾸준한 온도를 유지할 수 있습니다. 반복성은 정확하고 재현 가능한 난방 및 냉각 매개변수를 통해 달성됩니다. ACCUTHERMO-AW 610에는 프로세서의 설정 및 작동을 단순화하는 그래픽 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 시스템을 쉽게 프로그래밍할 수 있으며 프로세스 매개변수 (process parameters) 에 대한 자세한 보고서도 제공합니다. 또한 종합적인 표준 레시피 라이브러리 (Library of Standard Recipe) 를 통해 설정을 단순화하고 프로세서의 번거로운 작동을 허용합니다. 또한, AccuThermo AW 610에는 비정상적인 상황의 경우 시스템 및 운영자를 보호하는 많은 안전 기능이 있습니다. 생산성 향상을 위해 AW 610은 Allwin 21 HiPS (High-Performance Sintering Station) 및 AHS (Allwin 21 Handling System) 와 같은 다른 allwin 도구와 통합 될 수 있습니다. 이를 통해 wafer 를 자동으로 배치, 이동, 제거할 수 있으며 PECVD 및 기타 프로세스에서 wafer 를 전송할 수 있습니다. ALLWIN21 ACCUTHERMO-AW 610은 중소형 다이 크기에 이상적인 고속 열 프로세서입니다. 초고속 난방 및 냉각 속도는 처리량을 증가시키는 반면, 정확한 온도 조절은 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, 종합적인 사용자 인터페이스 (user interface), 레시피 라이브러리 (library of recipe) 및 다른 프로세스와의 통합은 모든 운영 환경에서 신속한 열 프로세서에 이상적인 선택이 됩니다.
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