판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 #9235031

AG ASSOCIATES Heatpulse 8800은 반도체 산업의 연구 개발을 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 빠른 열 어닐링, 빠른 열 산화, 빠른 열 질화 과정을 위해 개발되었습니다. 이 모든 공정은 반도체 제조에 사용됩니다. AG ASSOCIATES HEATPULSE 8800은 오일 프리 펌프 (oil free pump) 및 쿼츠 적외선 난방 램프로 구성된 강력한 기기입니다. 전체 공정 챔버 (process chamber) 에서 높은 온도 균일성을 제공하여 높은 반복 정확도와 향상된 공정 반복성을 제공합니다. 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 직경이 최대 150mm 인 웨이퍼를 anneal 수 있습니다. 또한 10 mTorr을 달성 할 수있는 2 층 진공 장비가 있습니다. Heatpulse 8800에는 빠르게 식히는 특수 설계 냉각 시스템이 있습니다. 열 펄스 (heat pulse) 패턴을 정확하고 적절하게 조정하여 이상적인 프로세스 매개변수를 달성할 수있는 자체 적응 장치 (self-adaptive unit) 를 보장합니다. 이 기기는 또한 공정 챔버에서 여러 열 구역을 정확하게 제어하기위한 멀티 존 (multi-zone) 난방 기계를 포함합니다. 최대 5 개의 난방 구역 (heating zone) 을 관리할 수 있으므로 전체 공정 챔버 전체에서 균일 한 어닐링이 가능합니다. 사용이 간편한 그래픽 인터페이스를 통해 직관적인 제어를 가능하게 합니다 (영문). 소프트웨어는 온도, 프로세스 챔버 압력, 시간, 유지 시간 등의 매개변수에 대한 자세한 그래픽 표현을 제공 할 수 있습니다. 또한 프로세스 추적 매개변수 (예: 총 열 시간, 주기 수) 를 제공합니다. HEATPULSE 8800 은 쉽게 유지 관리할 수 있으며 전 세계 서비스 및 지원을 통해 제공됩니다. 이 프로세서는 빠르고, 안정적이며, 정확한 열 프로세서로, 반도체 연구 및 개발 프로세스에 매우 중요합니다.