판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 #293622197

ID: 293622197
빈티지: 2008
Rapid Thermal Annealing (RTA) system 2008 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8800은 웨이퍼 처리, 어닐링, 스파이크 어닐링 및 기타 열 처리를 포함한 다양한 프로세스에서 시간, 온도 및 대기의 정확한 제어에 사용되는 강력한 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 8800 은 고급 제어 아키텍처 (Advanced Control Architecture) 와 소프트웨어 (Software) 를 갖추고 있어 정확한 온도, 가스 흐름, 시간 및 압력 주기를 달성하기 위해 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 8800 은 고온 균일성과 빠른 난방 기능을 결합한 최첨단 설계 (state-of-the-art design) 를 통해 다양한 웨이퍼 크기와 온도를 뛰어난 정확도로 처리할 수 있습니다. 8800 은 또한 "어닐링 '과정 중 대기 를 조절 하기 위한 집적 원자로 챔버 를 갖추고 있어서, 시간, 온도," 가스' 에 대한 정확 한 조절 을 할 수 있다. 8800 은 내장형 웨이퍼 로딩 시스템으로, 개별 웨이퍼 또는 배치를 손쉽게 로드할 수 있습니다. 또한 8800 은 내장 (내장) 프로그래밍 가능한 컴퓨터를 통해 다양한 소프트웨어 패키지에서 RTP 의 매개변수를 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 8800은 단일 웨이퍼 챔버에서 1250 ° C (2282 ° F) 의 높은 온도 범위와 ± 4 ° C (7 ° F) 의 온도 균일 성을 갖습니다. 어닐링 프로세스의 경우 8800의 압력 범위는 5-10 Torr, 스텝 사이클 시간은 0.1-12 초입니다. 또한 가스 전달 시스템이 내장되어 있어 비활성 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 8800 은 견고성 (rugging) 과 신뢰성 (안정성) 을 갖추도록 설계되었으며, 업계에서 발생하는 것과 같은 혹독한 환경에 사용됩니다. 또한 효율적인 냉각 시스템 (cooling system) 으로 설계되어 신속하게 냉각 및 사이클을 수행할 수 있습니다. 전반적으로, AG ASSOCIATES HEATPULSE 8800은 다양한 프로세스에서 정확한 타이밍 및 온도 제어를 제공하도록 설계된 강력하고 안정적인 RTP입니다.
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