판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9226004

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ID: 9226004
웨이퍼 크기: 4"-6"
빈티지: 1996
Rapid Thermal Processor (RTP), 4"-6" Main body Side panel Pyrometer chiller Rear monitor cart Quartz rack (Tray) Wafer transfer operation, 6" Robot and controller AC And DC power STDBUS Control box Pyrometer measurement temperature control system Pyrometer and special water cooler Control appliances and cables Temperature calibration sheet Temperature calibration tool pyrometer and omega 6-Gas channels with 5 MFCs Cooling station 1996 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108은 반도체 웨이퍼 연구 및 생산을 위해 설계된 고해상도 고속 열 프로세서입니다. 이 프로세서는 극저온 온도 (cryogenic temperization) 에서 섭씨 1,400도 이상 (1,400 °) 까지 전체 웨이퍼 온도의 정밀한 열 특성을 유지하고 제어 할 수 있습니다. 박막 (Thin Film) 과 다중 계층 (Multi-Layer) 프로세스로 웨이퍼를 처리하고 장치를 만들고 테스트하는 데 이상적입니다. AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108은 빠른 열 프로파일링을 갖춘 고해상도 고속 열 프로세서로, Heat Distribution, Degassing 및 Ion Implantations와 관련된 모든 작업을 신속하게 수행합니다. 빠른 속도와 저전력 난방 요소 (low-power heating element) 기술을 통해 몇 분 안에 웨이퍼 제작을 달성할 수 있습니다. 열 시스템은 독립적이고, 정확한 온도 제어, 압력, 시간 및 다양한 프로세스 수행을 위해 통합, 프로그래밍 가능한 컨트롤러 (controller) 로 구성됩니다. 또한, 이 프로세서는 온도 및 전류, 전압, 시간, 압력 등, 에 국한되지 않은 다양한 측정을 할 수 있습니다. 이 작업 (operation) 모드를 사용하면 일련의 작업을 자동으로 수행할 수 있으며, 프로세스 조건을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 프로세서는 제어 정확도를 높이기 위해 고급 PID 제어 알고리즘 (옵션) 으로 설계되었습니다. 프로세서는 또한 자동 종료 기능, 자동 압력 제어, 과열 보호, H 2 O 보호 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 안전 기능은 최적의 안전을 보장하고 시스템의 수명을 연장합니다. 이 프로세서에는 외부 시스템, 센서 및 기타 하드웨어에 연결하여 실시간 모니터링 및 제어를 통해 PC에 연결할 수 있는 내장형 진공 포트, 고급 포트, 여러 개의 I/O 포트가 포함되어 있습니다. HEATPULSE 8108은 반도체 웨이퍼 연구 및 생산에 적합한 포괄적 인 빠른 열 프로세서입니다. 고급 디자인과 기능을 통해 박막 (Thin-Film) 및 다중 레이어 (Multi-Layer) 제작에 이상적인 선택이 가능합니다. Heatpulse 8108은 우수한 고속 열 프로파일링, 저전력 가열 요소 기술, 고급 PID 제어 알고리즘, 내장 안전 시스템 등을 갖춘 반도체 웨이퍼 (wafer) 제작 프로세스의 효율성과 생산성을 극대화하는 완벽한 솔루션입니다.
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