판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 #9146306

AG ASSOCIATES Heatpulse 4108은 매우 컴팩트한 패키지로 강력한 열 처리 기능을 제공하는 빠른 열 프로세서입니다. 이 RTP 시스템은 주로 연구 개발 실험실에서 반도체 웨이퍼 (RTP) 의 어닐링 및 빠른 열 처리 (RTP) 과정을 가속화하기 위해 사용됩니다. Heatpulse 4108에는 박막 (Substrate) 난방이 장착되어 있으며, 이는 박막 층의 어닐링 (annealing) 과 같은 온도에 민감한 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 챔버 (chamber) 는 수평으로 엇갈린 튜브 인 튜브 (tube-in-tube) 유형의 히터를 특징으로하며 기판 표면에 걸쳐보다 균일 한 온도 분포를 제공하고 열 구배를 최소화합니다. 온도 균일성은 ATP (Automatic Temperature Profile) 조정 기능에 의해 지정된 응용 프로그램에 대해 추가로 최적화됩니다. 이 기능은 기판이 전체 중심 주택 (full center housing) 에서 챔버 (chamber) 모서리로 이동함에 따라 가열된 영역 온도를 최적화하기 위해 히터 전원을 조정합니다. AG ASSOCIATES Heatpulse 4108에는 최대 96 개의 프로세스에 대한 반복 가능한 프로세스 대상에 대한 완전 자동화 제어 기능을 제공하는 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 또한 사용자는 온도/전력/가스/시간 프로파일 (예: 온도/전력/가스/시간 프로파일) 과 같은 키 매개 변수를 모니터링하고, 한 웨이퍼에서 다음 웨이퍼로 반복 가능한 프로세스를 복제할 수 있는 워크스테이션에서 편리한 작업을 위해 이더넷 기반 원격 액세스를 제공합니다. Heatpulse 4108에는 몇 가지 안전 기능도 포함되어 있습니다. 전원 중단 후 자동 재연결이 가능한 백업 전원 공급 장치 (Backup Power Supply with Automatic Reconnection) 를 통해 모든 데이터가 손실이나 손상이 발생하지 않도록 보호합니다. 기본 제공되는 압력 조절기 (Pressure Regulator) 및 격리 장치 (Isolation Device) 는 최고의 프로세스 신뢰성을 제공합니다. 결론적으로 AG ASSOCIATES Heatpulse 4108은 강력하고 신뢰할 수있는 RTP 시스템으로, 우수하고 반복 가능한 열 처리 및 어닐링 기능을 제공합니다. 소형 (small size) 은 광범위한 안전 및 제어 기능과 결합하여 소규모 온도 감지 어플리케이션 (temperature-signitive application) 에 적합한 제품입니다.