판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 210 #293627701

AG ASSOCIATES Heatpulse 210 (AG ASSOCIATES Heatpulse 210) 은 다양한 웨이퍼 기판에 반복 가능한 온도 조절 프로세스를 제공하도록 설계된 빠른 열 처리 장비입니다. 이 시스템은 최적의 프로세스 제어를 위해 펄스 (pulsed) 와 빠른 열 사이클링 (rapid thermal cycling) 모드로 작동하여 특성이 균일하고 반복성이 뛰어난 제품을 제공합니다. 이 장치는 모듈식 (modular) 구성을 통해 다양한 어플리케이션을 쉽게 구성할 수 있습니다. 유지 보수가 쉽고, 빠르고, 쉽게 설치하고, 운영할 수 있도록 설계되었습니다. 기본 구성에서 기계에는 RTP (Rapid Thermal Processor) 스테이션, 어닐링 스테이션 및 8 인치 쿼츠 쿼츠 서셉터가 제공됩니다. 이중 영역 (Dual-Region) 구성으로 작동하도록 설계되어 여러 개의 동시 프로세스를 용이하게하기 위해 2 개의 개별 프로세스 챔버를 제공합니다. 이 도구의 표준 기능에는 온보드 임베디드 컨트롤러 (Onboard Embedded Controller) 에 의해 제어되는 정확한 온도 제어 에셋이 포함되어 있으며, 정확한 자동 온도 램핑, 정확한 온도 샘플링 및 제어, 정확한 열 측정 등 정확한 열 주기 관리를 제공합니다. 또한, 이 모델에는 종합적인 데이터 로깅 (data logging) 장비가 포함되어 있어 분석 및 프로세스 최적화에 유용한 데이터를 제공합니다. 또한 웹 기반 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 쉽게 설치, 조정 및 제어할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 정확한 펌프 다운, 다중 수준의 진공 펌핑 및 시간 민감성 프로세스와 관련된 복잡한 프로세스를 지원할 수 있습니다. 또한 단일 듀티 사이클 (duty-cycle) 작업에서 연속적이고 균일 한 배치 프로세스 실행에 이르기까지 여러 유형의 프로세스에 대한 제조 기능이 있습니다. 전반적으로, Heatpulse 210은 정확하고 반복 가능한 온도 조절 및 정밀한 프로세스 최적화를 위해 설계된 강력한 빠른 열 처리 기계입니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해, 특정 애플리케이션의 요구를 충족하도록 쉽게 구성할 수 있습니다. RTP 스테이션과 퍼니스 스테이션의 기능을 결합하여 정확한 펌프 다운 (pump down), 여러 수준의 진공 펌핑 (vacuum pumping), 균일 한 배치 프로세스 실행 (uniform batch process run) 및 시간에 민감한 작업 등 다양한 유형의 프로세스를 지원할 수 있습니다.