판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatpulse 210 #170134
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ID: 170134
웨이퍼 크기: Up to 4"
Rapid Thermal Processor Annealing System, up to 4"
Specifications:
Single wafer annealing with precision temperature control
Accommodates wafer sizes up to 4"
Operating temperature range of 400° to 1200°C
200/208 VAC, 50/60 Hz, 100 Amp
Controller not included.
AG ASSOCIATES Heatpulse 210은 다재다능한 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 다양한 기판 (유리, 갈륨 비소, 실리콘 포함) 의 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 온도 조절을 가능하게하도록 설계되었습니다. 넓은 온도 범위 (15 ° ~ 1200 ° C) 를 가지며 직경이 최대 200mm인 대형 기질을 처리 할 수 있습니다. Heatpulse 210은 Bipolar AC 공급에 의해 구동되며 최첨단 가열 단계를 통합합니다. 효율적인 열 전송 시스템, 정확한 피드백 컨트롤러, 최첨단 터치 제어 인터페이스 등을 갖추고 있습니다. 또한, 독보적인 가이드 트랙을 통해 간편한 로드, 더욱 길고 안정적인 프로세스 주기, 안정적인 설정 반복 기능을 제공합니다. AG ASSOCIATES Heatpulse 210은 고급 프로세스 제어 기능을 갖춘 단순하면서도 효율적인 디지털 처리 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이것은 기판의 온도를 조절하고 모니터링하는 데 사용될 수 있습니다. 뛰어난 장치 보호 및 정확한 온도 균일성을 위해 3 구역 아키텍처를 갖추고 있습니다. 사용자는 고해상도 스텝 컨트롤러의 프로세스 요구 사항에 따라 난방/냉각 속도 (heating/cooling rate) 를 조정하거나 사용자 정의 레시피를 적용하여 온도 램프 (tempering) 및 냉각 속도 (cooling rate) 를 제어할 수 있습니다. Heatpulse 210에는 광범위한 안전 기능이 제공됩니다. 과온 이미저 (over-temperature imager) 는 공정 중에 기질의 원치 않는 가열을 감지하는 데 사용됩니다. 또한, 입자가 없는 환경은 가장 까다로운 산업의 모든 순도 요구 사항을 충족하거나 초과합니다. AG ASSOCIATES Heatpulse 210은 신뢰성 있고 사용하기 쉬운 빠른 열 프로세서로, 정확한 온도 조절 및 장기 반복 기능을 제공합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System), 우수한 온도 균일성 및 안전 기능을 통해 다양한 열 처리 응용 프로그램에 이상적인 선택이 가능합니다.
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