판매용 중고 AG ASSOCIATES Heatplus 2146 #21341
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ID: 21341
웨이퍼 크기: 4"-6"
Rapid thermal processor, 4”-6”
Oxide and nitride film deposition
Cassette to cassette handling
Temperature range: 400°C to 1300°C
Single chamber
Parts system.
AG ASSOCIATES Heatplus 2146은 고성능 반도체 장치 응용 프로그램에 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. 고효율 반도체 공정을 위한 산업용 난방 (industrial-grade heating) 솔루션을 제공하기 위해 첨단 기술· 부품으로 제작됐다. 이 고급 장비는 최고의 성능, 품질, 안정성, 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 히트플러스 2146 (Heatplus 2146) 은 안정적인 온도 정확성과 반복성으로 빠른 열 주기를 제공하도록 설계되었습니다. 단일 챔버에 2 개 또는 3 개의 독립적 인 상하 (Top) 및 하단 (Bottom) 영역 요소가 있으며, 각각 독립적으로 작동하거나 그룹으로 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 구성에 따라 2 ~ 3 개의 RTD 온도 프로브도 장착되어 있습니다. 내장형 디지털 컨트롤러는 사용자에게 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 작동 (operation) 에 대한 높은 수준의 제어 능력을 제공합니다. AG ASSOCIATES Heatplus 2146의 설계를 통해 사용자는 가열 및 냉각 시간이 짧고, 한 세트 포인트에서 다른 세트 포인트로 더 매끄러운 전환을 제공하여 빠른 열 주기 속도를 달성 할 수 있습니다. 또한, 스테인리스 스틸 (stainless steel) 구조는 사용자의 반도체 프로세스에 강력한 프레임 및 환경 보호를 제공합니다. 공사에는 온도 조절 및 소음 감소를위한 공기 커튼도 포함됩니다. 히트플러스 2146은 휴대성이 뛰어나고 사용이 간편한 장치입니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 원하는 주기에 대한 매개변수를 쉽게 설정할 수 있습니다. 따라서 복잡한 프로그래밍이 필요 없으며, 사용자에게 편리하게 사용할 수 있습니다. 또한 PLC 컨트롤러와 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능은 높은 수준의 보호 기능을 제공하여 안정적인 작동을 보장합니다. 결론적으로, AG ASSOCIATES Heatplus 2146은 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 사용하기 쉬운 다양한 산업 등급 응용 분야에 적합한 빠른 열 프로세서입니다. 직관적이고 강력한 프레임으로 사용자 고급 온도 정확도, 반복 가능성, 사이클 매개변수 제어 기능을 제공합니다. 이 장치는 고성능 반도체 (Semiconductor) 프로세스에 사용하기에 적합하며, 다양한 업계에서 사용할 수 있도록 인증되었습니다.
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