판매용 중고 AG ASSOCIATES AW 610T #9272710
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ID: 9272710
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2012
Rapid Thermal Processors (RTP), 6"
With upgraded OS windows
Aluminum chamber
With water cooling and gold plating Isolated
Quartz tube without window oven control board
Main control board bottom and top heating: 21 (1.2 kW Each)
Radiation heating lamp modules
(4) Bank zones: Top, front, rear, bottom
Quartz tray, 3"-6" round wafer
Gas line
MFC Without shut-off valve
Holder: 100-800°C
NESLAB RTE7 Chiller
LCD Monitor, 17"
Mouse
Standard keyboard
T-Shape quartz with TC
Power supply: 208 V, 60 Hz, 50 A, 3 Phase
2012 vintage.
AG ASSOCIATES AW 610T 빠른 열 프로세서 (Rapid Thermal Processor) 는 반도체 산업의 고급 열 프로세스에 필요한 빠른 램프 속도와 고온에 대한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. AW 610T는 다이 결합, 다이 첨부, 확산, 산화, 리플로우, 금속화 및 어닐링을 포함한 다양한 제조 프로세스에 뛰어난 성능을 제공합니다. AG ASSOCIATES AW 610T에는 듀얼 모드 컨트롤러가 장착되어 있어 사용자가 프로세스 프로파일 (process profile) 또는 정상 상태 (steady-state) 온도를 프로그래밍할 수 있습니다. 이 기능은 오븐 (oven) 세트 포인트 결정에서 사용자의 유연성을 크게 향상시킵니다. AW 610T (Top Heat Optimization Algorithm) 는 분산 난방 요소를 활용하고 탁월한 균일성과 제어를 위해 효과적인 온도 감지를 위해 설계된 효과적인 최고 열 최적화 알고리즘을 갖추고 있습니다. AG ASSOCIATES AW 610T에는 외부 및 내부 레시피를위한 정교한 웨이퍼 추적 프로그램도 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 오븐이 프로세스 매개변수를 조정하여 개별 웨이퍼 (wafer) 의 다양한 조건을 수용할 수 있습니다. AW 610T 는 고급 자가 테스트 (self-test) 및 자동 조정 (auto-tune) 시스템으로 모든 구성 요소의 안전 테스트를 자동으로 시작하고 완료합니다. 이 시스템은 안전하고 안정적인 제조 환경을 보장합니다. AG ASSOCIATES AW 610T에는 정확한 온도 조절 및 최적화된 프로파일 실행을 가능하게 하는 다중 영역 모드 작업도 포함되어 있습니다. 또한 AW 610T (Modular Design) 는 모듈식 설계를 통해 조립, 구성, 유지 보수가 용이하며 운영 환경의 유연성을 극대화할 수 있습니다. AG ASSOCIATES AW 610T의 최대 온도 범위는 1000 ° C (1832 ° F) 이고 최대 램프 속도는 1 ° C/Sec (1.8 ° F/Sec) 입니다. AW 610T는 SEMI 표준 276 (SEMI Standard 276) 을 준수하며, 정밀도 또는 온도 균일성을 희생하지 않고 빠르게 가열하고 냉각시켜야 하는 제조업체에 적합한 비용 효율적인 솔루션입니다. '신뢰성 있는 디자인' 과 '견고한 성능' 은 반도체 업계의 많은 고급 열 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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