판매용 중고 AG ASSOCIATES 2146 #118008

AG ASSOCIATES 2146은 반도체 처리를 위해 특별히 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 2146에는 현대 반도체 제작에 이상적인 많은 기능이 있습니다. AG ASSOCIATES 2146은 매우 빠른 프로세스 사이클 시간을 가지고 있으며, 따라서 실리콘 웨이퍼의 처리량을 높일 수 있습니다. 시스템의 주기 시간을 20 초로 단축하여 시간당 최대 800 개의 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이렇게 하면 주기 시간이 짧은 대용량 배치를 설치할 수 있습니다. 2146은 처리 중 열 프로파일의 정확도를 높입니다. 이 제품은 여러 영역에서 정밀 레이저 다이오드 온도 제어 (precision laser diode temperature control) 를 통해 개별 영역 또는 계단식 다중 영역 열 벽에 대해 극도로 정밀한 온도 제어를 지원합니다. 이 정밀 제어 수준 (level of precision control) 은 열 주기 결과의 변화를 크게 줄여 프로세스를 더욱 강력하고 균일하게 만들 수 있습니다. AG ASSOCIATES 2146은 또한 RTP 프로세스에 사용될 수있는 광범위한 공정 화학 물질을 제공합니다. 예를 들어, 산화, 질화, 어닐링 및 에칭을 제공 할 수 있습니다. 따라서 모든 프로세스의 요구 사항을 충족시켜 유연성과 효율성을 극대화할 수 있습니다 (영문). 2146 은 또한 정밀한 온도 모니터를 탑재하여 실제 프로세스 사이클 (process cycle) 을 통해 온도를 최적으로 실시간 제어할 수 있습니다. 이 모니터는 열 (thermal) 프로파일이 정확한지 확인하고 프로세스의 변화에 동적으로 반응하는 데 사용됩니다. 마지막으로 AG ASSOCIATES 2146은 가스 제어 안전 기능 (gas control safety features) 및 사용자를위한 안전 프로토콜 (safety protocol) 과 같은 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이 기능은 프로세스를 안전하게 수행하고, 최고 수준의 안전 (Safety) 표준을 준수하도록 도와줍니다. 2146 은 현대의 반도체 프로세싱에 최적화된 RTP 프로세스를 찾는 제조업체에 이상적인 시스템입니다. 빠른 주기 (rast cycle) 와 정밀 온도 제어 (precision temper control) 를 통해 생산량을 높이고 웨이퍼 당 비용을 절감하려는 사람들을 위한 효율적이고 강력한 솔루션을 제공할 수 있습니다.