판매용 중고 AET RX-V4 #81268

AET RX-V4
제조사
AET
모델
RX-V4
ID: 81268
웨이퍼 크기: 4"
Quartz Rapid Thermal Process unit, 4" 2 Bank configuration, (12 upper and 12 lower lamps), 3 MFC controlled gas lines (Nitrogen, Oxygen, and Forming Gas, High Temperature Pyrometer, Type K Contact TC No pumping system Refurbished.
AET RX-V4는 최적화된 열 실행 및 최고 효율성을 위해 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 반도체 소자 구조, 태양광 전지 등 다양한 응용프로그램을 위한 유연하고, 비용 효율적인 솔루션입니다. 프로세서의 코어는 고급 열 엔진 (advanced thermal engine) 으로, 여러 분산 가열 요소 세트를 사용하여 기판 전체에서 정밀하고 정확하게 온도를 제어하며, 가장 열적으로 어려운 구조의 실시간 처리를 가능하게합니다. RX-V4는 견고하고 유연한 재료 모두에서 고해상도 디지털 프로세싱을 지원하도록 특별히 설계되었습니다. 이 프로세서 (processor) 는 응용 프로그램에 필요한 최대 공정 온도 (process temperature) 까지 기판에서 제어된 온도 (temperate up) 를 통해 열 포트폴리오를 제어할 수 있으며, 이 온도를 제어 대기에서 유지할 수 있습니다. 프로세서는 비활성 및 산화 가스, 고밀도 주변 압력 등 다양한 대기 압력 하에서 여러 기질을 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 뛰어난 품질 관리 및 최종 제품의 성능을 보장할 수 있습니다. 또한, 프로세서는 다양한 열 관리 (thermal management) 기술을 사용하여 다양한 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 프로세서는 또한 내장된 분산 난방 아키텍처 (Distributed Heating Architecture) 를 갖추고 있어 전체 기판에 걸쳐 효율성과 독보적인 균일성을 극대화합니다. 이것은 기질에서 통제 환경으로의 열 전달을 방지하여, 비 균일성 (non-uniformity) 또는 더 나쁜, 기질의 파괴를 피함으로써 달성된다. 또한, 이 아키텍처는 추가 단계와 지연을 제거하고, 처리량을 높이고, 생산성을 향상시켜 주기 (cycle) 시간을 단축합니다. 또한 AET RX-V4는 자동 웨이퍼 로딩, 실시간 프로세스 제어 및 모니터링, 신뢰성이 높은 열 전기 냉각 등 포괄적인 사용자 인터페이스 및 고급 기술을 갖추고 있습니다. 또한 자동 기판 변환, 온도 모니터링, 디지털 처리 제어 (Digital Processing Control) 등의 향상된 기능을 제공하면서 안전성과 성능을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로, RX-V4는 강력하고 효율적인 고속 열 프로세서로, 우수한 결과를 제공합니다. 이 프로세서는 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 따라서 사용자는 고급 열 제어 (thermal control), 높은 정확도, 향상된 생산성 (productivity) 의 이점을 얻을 수 있습니다. 신뢰성 있고 견고한 특성으로 인해 다양한 처리 요구 사항에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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