판매용 중고 AET RX-V4 #78797

AET RX-V4는 효율적인 반도체 장치 제작을 촉진하기 위해 설계된 고급 고속 열 처리 장비입니다. RX-V4는 다재다능하고 안정적인 도구로 빠른 고온 분석, 웨이퍼 어닐링, 증착 및 고정밀 다이 결합 프로세스를 가능하게합니다. 이 시스템에는 통합 수직 리프트, 다중 리프트 리프트 구성 및 통합 웨이퍼 매핑이 있습니다. AET RX-V4는 사전 프로그래밍 된 수평 암 (Harmonizer) 및 고급 소프트웨어 진단을 통합합니다. 이를 통해 개별 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 적응형 설계 (Adaptive design) 를 신속하게 감지, 매핑할 수 있습니다. 하모나이저 (Harmonizer) 는 두꺼운 필름 경화 및 발사, 금속 박막 경화, 저온 열 처리 등 수많은 열 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 첨단 자동차 (Advanced Automotive) 기술이 통합되어 있어 안정성과 가동 시간이 극대화되어 반도체 소자 생산 공정에 이상적인 솔루션이 됩니다. RX-V4 의 고급 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능은 개별 프로세스 단계를 시각화하고 식별할 수 있는 기능으로, 다양한 프로세스 매개변수를 신속하게 진단하고 수정할 수 있습니다. 웨이퍼 맵에는 여러 고해상도 이미지가 포함되어 있는데, 이 이미지는 시간이 지남에 따라 개별 프로세스 매개변수를 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 열 처리 (thermal process) 동안 온도 프로파일을 모니터링하고 시각적 검사 데이터를 연관시키는 데 사용할 수 있습니다. 또한 AET RX-V4는 샘플 내에서 결함 및 기타 불일치를 신속하게 식별 할 수 있습니다. RX-V4 는 고효율 진공기와 고급 웨이퍼 분석 (wafer analysis) 툴을 탑재하여 광범위한 테스트와 실험을 수행할 수 있습니다. 진공 자산 (Vacuum Asset) 은 다양한 센서 기술을 사용하여 압력 및 온도를 실시간으로 모니터링합니다. 이렇게 하면 프로세스 매개 변수를 빠르고 정확하게 최적화하고 제어할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 분석 모델을 통해 두께, 조성 구성, 오염 수준 등의 웨이퍼 피쳐에 대한 정량적 분석을 수행할 수 있습니다. AET RX-V4 는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있어 간편한 탐색 및 직관적인 작업을 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 다양한 열 프로세스의 결과를 쉽게 평가할 수 있습니다. 이 장비에는 고급 자가 진단 및 유지 관리 기능도 포함되어 있어, 최적의 작동과 신뢰성을 보장합니다. 전반적으로 RX-V4는 효율적이고 안정적인 열 처리 시스템입니다. 반도체 장치를 효율적으로 제작하는 데 이상적인 도구이며, 빠르고, 정확하고, 정확한 열 분석, 웨이퍼 어닐링, 증착 및 다이 본딩 프로세스를 위해 직관적이고 포괄적인 플랫폼을 제공합니다.