판매용 중고 ACCRETECH / TSK ARTS-HS #9244273

ACCRETECH/TSK ARTS-HS는 Power module 및 Driver IC를 포함한 Power 반도체 장치 개발을위한 이상적인 플랫폼 역할을하도록 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 프로세서는 고속 열 처리 (Rapid Thermal Processing) 및 전원 응용 프로그램 (Power Application) 기술을 사용하여 단 15분만에 고속 및 정확한 열 처리 결과를 얻을 수 있습니다. 처리량이 높고, 10 ~ 15 개의 웨이퍼가 15 분 안에 처리되며, 다양한 샘플 크기를 처리 할 수 있습니다. 프로세서는 고도 강철 (heavy-duty steel) 또는 알루미늄 프레임에 장착 된 핫 플레이트 (hot plate) 장비를 사용하여 빠른 열 처리에 효과적인 열 환경을 제공합니다. 핫 플레이트 시스템에는 고온, 고속 세라믹 난방 요소가 포함되어 있어 웨이퍼를 빠르고 균일하게 가열합니다. 핫 플레이트에는 안정적이고 정확한 온도 조절을 위해 일련의 온도 센서 (temperature sensor) 가 내장되어 있습니다. 또한 핫플레이트의 온도는 센서의 피드백을 기반으로 하는 PID 온도 컨트롤러 (PID temperature controller) 로 제어됩니다. TSK ARTS-HS 는 다양한 "가스 '전달 시스템과 함께 사용되어 신속하고 통제된 열 처리를 가능하게 합니다. 여기에는 핫 플레이트와 샘플 웨이퍼 사이에 배달되는 캐리어, 퍼지 (purge) 및 반응성 가스 (reactive gase) 가 포함됩니다. 이 프로세서는 또한 산화 (oxidization) 및 질화 (nitridization) 와 같은 응용을 위해 외부 가스 전달 시스템과 함께 사용될 수있다. 프로세서에는 자동 (automated) 로봇 암이 장착되어 있어 핫 플레이트를 샘플 웨이퍼 (sample wafer) 로 이동, 샘플 웨이퍼 (sample wafer) 를 스토리지용 통합 로더로 이동할 수 있습니다. "로봇 '암 에는 열 처리 과정 을 감시 하는 데 사용 할 수 있는 시력 장치 (vision unit) 가 있으며, 그것 은" 웨이퍼' 가 "핫 플레이트 '에 정확 하게 맞춰져 있도록 한다. 일련의 안전 인터 록 (Safety Interlock) 이 프로세서 작동을 방지하는 로봇 암 (Robot Arm) 에 통합되어 핫플레이트를 샘플 웨이퍼에서 벗어나게 할 수 있습니다. 또한 ACCRETECH ARTS-HS (ACCRETECH ARTS-HS) 는 사용자에게 친숙한 소프트웨어 인터페이스를 제공하여 프로세서의 작동을 쉽게 제어하고 모니터링합니다. 이 인터페이스는 PC, 태블릿 (tablet) 또는 스마트폰 (smartphone) 에서 액세스할 수 있으며, 원하는 결과를 얻기 위해 조정할 수 있는 다양한 매개변수를 제공합니다. 전반적으로, ARTS-HS는 Power 반도체 장치의 열 처리에 대한 고속 정확성을 제공하는 고급 고속 열 프로세서입니다. 핫플레이트 (hot plate) 머신, 가스 전달 기능, 로봇 암 (robot arm) 및 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스가 모두 결합하여 시간을 절약하고 생산성을 높이는 뛰어난 성능을 제공합니다.