판매용 중고 VARIAN VHS-6 NRC 0184 #191643
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ID: 191643
웨이퍼 크기: 6"
Diffusion Vacuum Pump, 6"
Specifications:
Pumping Speed, Operating Range: 1,5500 1/s air, 1,930 l/s HE / H2
Maximum Throughput: 2.4T-l/s, (3.2 mbar-l/s) in operating range; 3.5T-l/s, (4.5 mbar-l/s) @0.01 torr
Operating Range: 1.5x10^-3 to, <5x10-9 torr(2.7x10^-3 to <6.5x10^-9 mbar)
Maximum Forepressure: No Load: 0.65 torr (0.85 mbar), Full Load: 0.55 torr (0.72 mbar)
Backstreaming Rate, Standard Cold Cap: <5x10-4 mg/cm2/min
Fluid Charge: 500 cc
Electrical Requirements: 1 ph, 50/60 hz, 120/208/240 VAC
Pump Power: 2200 watts
Cooling Water Requirements: 0.25 gpm (50 l/hr) at 60-80 degrees F (15-26 degrees C)
Water Connections: 1/8 in. FPT Tee.
VARIAN VHS-6 NRC 0184 펌프는 가변 속도, 방사형 베어링 펌프로, 장기적인 신뢰할 수있는 운영이 필요한 산업 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 펌프는 부식에 강한 합금으로 만들어졌으며, 내구성이 우수하도록 견고한 디자인을 갖추고 있습니다. 최대 용량은 분당 800 입방 피트 (cubic feet) 이며 분당 최대 유량은 24 갤런입니다. VHS-6 NRC 0184 펌프는 최대 3.5kW의 전력을 공급할 수있는 유도 모터를 사용하며 최대 12Bar (174psi) 의 압력을 처리 할 수 있습니다. "모우터 '는 양방향 으로 속도 를 조정 하여 더 정확 하게 흐름 을 조절 할 수 있다. 또한 "펌프 '는 단순 한" 스위치' 로 역전 될 수 있으며, 필요 할 때 는 언제나 그 회전 방향 을 역전 시킬 수 있다. VARIAN VHS-6 NRC 0184 펌프는 작동 중에 펌프에 박힌 입자를 제거하도록 설계된 액체 및 가스 타이트 클리너 (gas tight cleaner) 를 모두 갖추고 있습니다. 이 펌프에는 수압 균형 샤프트 (hydraularically balanced shaft) 가 장착되어 있어 작동과 관련된 진동 및 소음 감소, 과열 방지 장치 (press relief system) 가 내장되어 있습니다. 또한, 이 펌프에는 고급 밀봉 시스템이 장착되어 있어 유출 방지 (Leak-Free) 성능이 보장됩니다. VHS-6 NRC 0184 펌프는 산업 응용 분야를 위해 설계된 안정적이고 강력한 펌프입니다. 가장 까다로운 운영 조건에서도 안정적이고 일관성 있는 성능을 제공할 수 있습니다 (영문). 이 "펌프 '는 튼튼 하고 신뢰 할 만한 구조 를 가지고 있으며 가장 힘든 상태 를 견디도록 설계 되었다. 또한 정확한 제어 기능 (Control Features) 과 유지 보수 기능 (Maintenance Features) 을 모두 제공하여 운영자가 특정 요구 사항에 맞게 흐름 속도를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 펌프는 신뢰할 수 있는 장기 성능을 필요로 하는 사람들에게 이상적이며, 신뢰성이 높고 효율적인 펌핑 (pumping) 솔루션을 찾고 있습니다.
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