판매용 중고 VARIAN DS 602 #110124

VARIAN DS 602는 반도체 및 관련 산업에서 사용하도록 설계된 다이어프램 펌프입니다. 이 펌프는 박막의 초고진공 증착 (ultra-high vacuum deposition) 및 기타 고급 반도체 공정 (advanced semiconductor process) 과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 이 "펌프 '는 낮은 압력 에서 높은" 펌프' 속도 를 제공 하는 한편 극히 신뢰성 있고 극히 조용 한 작동 을 유지 하도록 설계 되었다. VARIAN DS602는 드라이 러닝 비 회전 선형 동작 밀봉이있는 드라이 클로 스타일 멀티 스테이지 진공 펌프입니다. 이 디자인은 견고하고 잘 밀봉 된 주택에 각각 자체 기계식 인감 (mechanical seal) 을 갖춘 베어링 (bearing) 세트를 통합하여 최대의 내구성과 성능을 보장합니다. 완전 히 밀폐 된 주택 은 오염 을 방지 하고, 음향 수준 을 최소한 으로 유지 하는 데 도움 이 된다. DS-602 는 낮은 진공 수준에서 안정적이고 잘 제어되는 압력을 제공하는 독보적인 로터 (rotor) 설계를 통해 반도체 애플리케이션의 처리량을 최적화할 수 있습니다. 또한, 진공 압력 (vacuum pressure) 및 기타 작동 매개변수를 쉽게 제어 할 수있는 여러 업계 표준 (industry standard) 컨트롤을 사용할 수 있습니다. 펌프는 50/60 Hz 주파수 범위의 강력한 AC 동기 모터로 구동되며, 낮은 주파수에서 최대 토크를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기능을 통해 VARIAN DS-602는 높은 압력 및 온도에서 신뢰할 수있는 작동을 제공 할 수 있습니다. 또한, 모터는 진동 및 소음 수준을 줄이기 위해 특별히 설계되었으며, 이는 민감한 반도체 응용 분야에 이상적입니다. DS602 는 고효율 작동을 제공하도록 설계되었으며, 전체 압축 공기 중 95% 가 잠재적 처리량을 극대화할 수 있습니다. 또한, "펌프 '에는 미립자 오염 을 감소 시키고 효율성 을 증대 시키는 데 도움 이 되는 흡기 및 배기" 필터' 가 들어 있다. 포함 된 안전 연동 장치 (Safety Interlock) 는 장비의 매개변수 내에서 작동이 유지되도록 도와주며, 추가 안전 측정 (Safety Measure) 으로서 압력 분리 밸브 (Pressure Release Valve) 와 송풍기 (Blower) 를 낮은 압력 및 온도 범위에서 작동시킬 수 있습니다. 전반적으로, DS 602 는 안정성, 저압, 높은 펌핑 속도를 요구하는 애플리케이션에 적합한 탁월한 솔루션입니다. 추가 보너스로서, 이 설계는 펌프가 거의 소음 없는 작동을 동적으로 유지하도록 보장하며, 이는 다양한 민감한 반도체 관련 응용에 이상적입니다.