판매용 중고 ULVAC LR90 #9287394
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ULVAC LR90은 최고의 진공 응용을 위해 설계된 로터리 베인 기계식 진공 펌프이며 최대 0.005 torr (5 x 10-4 mbAra) 의 진공 수준을 달성 할 수 있습니다. 직접 구동 모터 (direct drive motor), 내부 부품의 강제 윤활화 및 암모니아 누출률을 최소화하기 위한 최적의 밀봉 측정이 특징입니다. 고급 석유 복구 시스템 (Oil Recovery System) 및 오염 물질 관리 (Contaminant Management) 와 결합 된 최고급 진공은 반도체 처리에 이상적입니다. LR90에는 장기, 지속적인 업무 운영을 위해 에너지 효율이 높은 초소형 직접 구동 모터가 포함되어 있습니다. 또한 진공실 에서 기름 을 회수 하여 "펌프 '의 지속적 인 윤활화 를 보장 하는 데 사용 함 으로써 효율성 을 증대 시키는 고급 석유 회수 장치 가 특징 을 이룬다. 고급 오염 물질 관리 시스템은 운영 비용을 줄이기 위해 2 단계 오일 분리 장치를 갖추고 있습니다. ULVAC LR90은 암모니아의 누출 속도를 최소화하기 위해 최적의 밀봉 측정을 갖습니다. 여기에는 깨끗한 질소 및/또는 산소를 제공 할 때 500 개의 밀봉 인자를 달성하기위한 이중 작용 O- 링 물개가 포함됩니다. 특수 환기 장치는 암모니아 누출률을 1.0 x 10-8 mbarA로 줄여 잔류 가스 오염을 줄입니다. LR90은 손쉬운 유지 관리 및 교체를 위해 설계되었습니다. 이 "펌프 '는 분해 없이 사용 할 수 있으며, 튼튼 한 구조 를 통해 최대 50,000 시간 의 지속적 인 작동 이 가능 하다. 또한 다양한 운영 온도 (Operating Temperature) 를 통해 다양한 환경에서 사용할 수 있습니다. 또한, ULVAC LR90 은 펌프의 성능에 대한 실시간 정보를 제공하는 통합 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 비정상적인 작동 시 펌프를 종료하는 보호 모드 (Protect-Mode) 기능도 포함되어 있습니다. 내장 온도 및 차동 압력 지표는 연산자에게 문제를 경고합니다. LR90은 최고의 진공 응용을 위해 설계된 고급 로터리 베인 기계식 진공 펌프입니다. 에너지 효율적인 다이렉트 드라이브 모터 (Direct Drive Motor), 고급 오일 복구 시스템 및 암모니아 누출률을 최소화하기 위해 최적화 된 밀봉 측정이 특징입니다. 통합 모니터링 툴과 보호 모드 (Protect-Mode) 기능을 통해 실시간 정보를 제공하고 모든 문제에 대해 경고할 수 있습니다. 강력한 구성, 장기 작동, 다양한 작동 온도를 갖춘 ULVAC LR90은 반도체 처리에 이상적인 선택입니다.
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