판매용 중고 ULVAC DAL-10S #9110366

ULVAC DAL-10S는 매우 높은 수준의 강도와 성능을 가진 건식 기계 펌프입니다. 이 펌프는 RIE (Reactive Ion Etching), CVD (Chemical Vapor Deposition), MBE (Molecular Beam Epitaxy) 및 기타 에칭 응용 프로그램과 같은 플라즈마 프로세스의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. DAL-10S는 윤활과 피스톤/플런저 메커니즘으로 구성된 2 단계 압축을 갖는 방사형 건식 드라이-기계식 펌프입니다. 그것 은 특수 한 "디자인 '의 원통형" 로터' 를 사용 하여 최후 의 압력 에서도 능률적 으로 작동 할 수 있다. 이 로터는 저항력이 강한 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 드라이브 샤프트에 직접 연결되어 저진동 작동이 가능합니다. 2 단계 압축 방법은 내부 실린더의 피스톤과 외부 실린더의 밸브를 사용합니다. 피스톤 (piston) 과 밸브 (valve) 는 내부 실린더에 진공을 생성하여 공정 챔버로 직접 이동합니다. 내부 실린더 (inner cylinder) 에는 지름을 따라 다수의 곡면 (vane) 이 있으며, 전체 길이를 따라 펌프 가스의 고른 흐름을 보장합니다. ULVAC DAL-10S 펌프는 최대 공칭 펌핑 속도 (NPS) 가 25m3/h (900l/min) 인 높은 유속 기능을 위해 설계되었습니다. 인라인 여과 및 입자 제거는 입자와 먼지를 0.3m 작게 제거 할 수있는 잘 설계된 스테인리스 스틸 스트레이너 (stainless steel strainer) 에 의해 제공된다. 펌프는 모든 용접 스테인리스 스틸 하우징 (stainless steel housing) 으로 둘러싸여 있으며 오일 레벨 표시기, 오일 드레인 포트 및 드레인 밸브가 제공됩니다. 0. C ~ 45. C 온도에서 작동할 수 있으며 소음 수준은 65 dBA보다 낮습니다. 편의상 DAL-10S에는 시각적 압력 게이지와 압력 표시기 패널이 제공됩니다. ULVAC DAL-10S는 신뢰할 수 있고 오래 지속되는 건식 기계 펌프로, 많은 플라즈마 공정에 적합합니다. 저진동, 낮은 유지 관리 설계로 문제가 없는 작동과 최대 효율성을 보장합니다. 이 "펌프 '는 뛰어난 유속 과 여과 능력 을 지닌" 펌프' 로서, 질 높은 진공 이 필요 한 모든 과정 에서 훌륭 한 선택 이다.