판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Intelligen Mini #293660517
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TEL/TOKYO ELECTRON Intelligen Mini는 공정 액체 전달을 위해 설계된 고급 소형 펌프 장비입니다. 이 유형의 펌프는 반도체 생산에서 종종 발견되는 초 순수 화학 물질 (ultra-pure chemicals) 환경에서 반도체 웨이퍼 제조 공정의 필수 부분입니다. 이 펌프는 비용을 절감하고 시스템 복잡성을 최소화하면서 매우 정확한 측정 (metering), 정확한 제어, 안정적인 작동을 제공하도록 설계되었습니다. TEL Intelligen Mini는 작고 가벼운 구조로, 설치 및 유지 관리를 향상시킵니다. 이 미니어처 펌프는 높은 순도 화학 물질을 공급하고, 비활성 대기 하에서 작동하며, 내결함성, 자체 진단 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 디자인 측면에서, 그것은 스프링의 필요성을 제거하여 흔들림을 줄이고, 정확성을 유지하는 데 도움이되는 소형 듀얼 암 피스톤 (dual-arm piston) 디자인을 특징으로합니다. 부하 감지 기술과 함께 고정밀 모터 및 인코더도 진동을 제한하고 제어 안정성을 제공합니다. 또한 SMPS 및 지능형 모터 드라이버 (motor driver) 를 함께 사용하면 애플리케이션 요구에 따라 출력 전력과 흐름 속도를 모니터링하고 조절할 수 있습니다. 펌프에는 펌프 헤드 업 (Pump Head-up) 을 방지하고 마모 및 유지 보수 비용을 줄이기 위한 인라인 (In-Line) 통합 압력 모니터도 포함되어 있습니다. 또한, 마이크로프로세서 제어 및 데이터 인터페이스를 통해 사용자는 작업을 모니터링하고 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Intelligen Mini에는 고객 수요에 따라 안전한 운영을 보장하기 위해 내장 안전 장치가 장착되어 있습니다. 이러한 안전 시스템에는 온도 과부하 보호, 누출 감지, 압력 역류 보호, 여행 이상 보호 및 기계 안전을위한 RS232 통신이 포함됩니다. 이러한 기능 외에도, 지능형 미니 (Intelligen Mini) 는 사용자가 펌프에서 최적의 성능을 해결하고 유지할 수 있도록 설계된 진단/유지 관리 툴을 갖추고 있습니다. 이 자산은 이더넷을 통해 또는 터미널을 통해 원격으로 액세스할 수 있습니다. 이 진단 모델은 펌프 (Pump) 의 성능을 모니터링하고, 상당한 변경 사항을 경고하며, 모든 문제에 대해 빠르고 효과적인 솔루션을 제공합니다. 따라서, 사용자는 펌프 (Pump) 의 문제를 쉽게 해결하고 장비의 성능을 최적으로 유지할 수 있습니다. 요약하자면, TEL/TOKYO ELECTRON Intelligen Mini는 많은 응용 프로그램에 적합한 솔루션입니다. 초순수 화학 환경에서 높은 정확도, 정확한 제어, 안정적인 작동, 비용 효율성을 제공하는 고급 공정 액체 전달 펌프입니다. 또한, 이 기능은 높은 수준의 안전, 간편한 유지 관리 및 진단 지원을 제공합니다. 따라서, 이 펌프는 모든 반도체 생산 프로세스에 완벽한 솔루션입니다.
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