판매용 중고 PFEIFFER / BALZERS TPH 190 #9001724
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PFEIFFER/BALZERS TPH 190은 견고하고 고성능, 신뢰할 수있는 터보 분자 펌핑 장치입니다. 반도체 및 기타 초고진공 공정에 사용하도록 설계된 BALZERS TPH 190은 진공 응용 분야에서 우수한 성능을 발휘하기 위해 강력한 알루미늄 합금 표준으로 설계되었습니다. 터보 펌프에는 "Free-floating" 스크롤 유형 변위 펌프와 결합 된 단일 단계 고효율 "Direct Drive" 터보 분자 펌프가 장착되어 있습니다. 다이렉트 드라이브 (Direct Drive) 기술은 터보-분자 펌프 터빈이 저관성 결합 (low-inertia coupling) 에 의해 직접 전원 공급 장치에 연결되어 매우 안정적이고 효율적인 펌프를 의미합니다. 스테이지 내 설계는 터보 분자 펌프 내에서 가스의 가속을 허용하여 펌프 속도가 높으며, 펌핑 용량이 개선되었습니다. PFEIFFER TPH 190은 스테인리스 스틸 스크롤 형 변위 펌프를 사용합니다. 이것은 전통적인 변위 펌프보다 뛰어난 내구성과 성능을 보장합니다. "과잉 펌핑 '을 자동으로 방지하는 안전 밸브 (Safety Valve) 도 내장돼 있는데, 이는 펌핑 시스템이 잠재적 피해로부터 안전하게 렌더링된다는 의미입니다. 스크롤 유형 변위 펌프에는 자체 시작 (self-start) 기능이 있습니다. 즉, 진공이 적용되면 자동으로 시작됩니다. 또한 다이렉트 드라이브 (Direct Drive) 기술을 통해 터보-분자 펌프가 매우 높은 진공을 빠르게 달성하고 에너지 효율을 향상시킬 수 있습니다. TPH 190 (TPH 190) 은 또한 편리한 크기의 컴팩트한 설계를 갖추고 있으며, 이동성을 통해 공간이 문제가 되는 지역에 손쉽게 설치, 유지 관리할 수 있습니다. 펌프는 사용하기 쉽게 전기 인터페이스와 통합됩니다. 펌프가 여러 개의 댐핑 장치를 사용하여 진동 수준을 줄이기 때문에 PFEIFFER/BALZERS TPH 190에서 감쇠 속도가 낮습니다. "펌프 '의 유속은" 바이패스 밸브' 로 조절할 수 있기 때문에 필요에 따라 늘리거나 줄일 수 있다. "펌프 '는 또한 폭 넓은 성능 범위 를 제공 하며, 초음파 내지 고진공 압력 을 비교적 빨리 달성 할 수 있다. 또한 BALZERS TPH 190에는 입구 냉각 공기가 장착되어 있어 작동 중 추가 냉각을 제공합니다. 전반적으로 PFEIFFER TPH 190은 안정적이고 고성능 터보 분자 펌프에 적합한 탁월한 선택입니다. Direct Drive 기술, 낮은 연결 속도, 조절 가능한 흐름 속도, 넓은 성능 범위 및 컴팩트한 디자인으로, 매우 높은 진공 공정에 이상적인 펌프입니다.
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