판매용 중고 PFEIFFER / BALZERS TMU 521UP #124369

PFEIFFER/BALZERS TMU 521UP은 고성능, 중용량, 능동 냉각 터보 분자 펌프입니다. 디자인은 2 단계 확산 드래그 펌핑 메커니즘을 기반으로하며 독점적 인 BALZERS ULTiMATE 펌핑 성능 기술이 특징입니다. 이 펌프는 반도체 및 레이저 처리 및 일반 진공 응용에 사용하도록 설계되었습니다. BALZERS TMU 521UP은 최대 펌핑 속도 180l/s 및 최대 총 압력 2x10-10mbar를 제공합니다. 이 성능은 아노디 화 된 알루미늄 코팅 (aluminum coated) 성분의 2 단계를 사용하여 낮은 유체 동적 손실 및 최소 내부 드래그에 최적화되었습니다. 제 1 단계는 2 개의 축 배열 된 고정자 블레이드로 구성되며, 제 2 단계는 1 개의 방사형 로터 세트로 구성된다. 또한, 로터는 강화 된 마모 저항을 위해 티타늄으로 만들어집니다. 또한, PFEIFFER TMU 521UP에는 활발한 냉각 모터가 장착되어 있어 전반적인 에너지 소비를 줄이고 뛰어난 냉각 매개변수와 향상된 모터 수명을 제공합니다. 전원 연결에는 과잉 전류 (current draw) 의 경우 펌프를 차단하는 3 단계 전류 모니터링 시스템 (three level current monitoring system) 이 장착되어 있습니다. 펌프는 DIN (Direct Attach KF25) 포트와 호환되며, 임의의 방향으로 설치할 수 있으므로 단단한 공간에서 최대의 유연성을 제공합니다. 또 다른 이점은 통합 된 크립톤 이온 게터 (krypton ion getter) 로, 산소, 수소 및 수증기 분자의 청소부 펌프로 기능하여 아웃게싱 성능이 향상됩니다. TMU 521UP (TMU 521UP) 은 영구 오일 안개 분리기 시스템으로 제작되어 오일 분자를 공정 챔버로 방출하는 것을 방지합니다. 이로써 더 깨끗하고, 고품질의 진공 공정 환경 (vacuum process environment) 이 만들어지며, 기름을 교체할 필요가 없어서 펌프의 수명을 연장하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 PFEIFFER/BALZERS TMU 521UP은 안정적이고 효율적인 중형 터보 분자 펌프로, 다양한 고급 진공 및 반도체 처리 응용 프로그램에 적합합니다. 이 펌프는 뛰어난 장기 성능, 낮은 전력 소비량, 좁은 공간에 손쉬운 설치 기능을 제공합니다.