판매용 중고 PFEIFFER / BALZERS TMU 521P #124368

PFEIFFER / BALZERS TMU 521P
ID: 124368
Turbo pump.
PFEIFFER/BALZERS TMU 521P 펌프는 초고진공 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 고성능 터보 분자 펌프입니다. 높은 펌핑 속도, 뛰어난 저압, 장기적인 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 펌프는 1 차 확산, 기계적 펌핑 단계, 이온화 (ionization) 및 이온 소스 기술 (ion source technologies) 을 포함한 여러 기술을 결합한 혁신적인 설계를 통해 매우 효율적이고 내구성이 뛰어난 시스템을 제공합니다. BALZERS TMU 521P는 조절 가능한 속도 제어를 갖춘 DC 드라이브 모터를 갖추고 있으며, 펌프는 분당 최대 5000 리터의 속도에 도달 할 수 있습니다. 펌프에는 2 단계 터보 펌프 로터 (turbo-pump rotor) 가 있으며, 최대 진공 수준을 5 x 10 ^ -2 Pa까지 제공 할 수 있습니다. 또한 펌프에는 EN81 이온 및 이온 소스 기술이 장착되어 진공 챔버에서 가스 분자를 효과적으로 제거하고 최후 압력 수준을 유지할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 진공 레벨 표시기 (vacuum level indicator) 를 포함한 고급 진단 (advanced diagnostics) 기능을 통해 시스템 성능의 변화를 감지할 수 있습니다. PFEIFFER TMU 521P는 높은 진공 성능이 중요한 모든 응용 프로그램에 적합한 선택입니다. 특히 고급 연구 응용 프로그램, 극저온 응용 프로그램, 전자 제품 및 반도체 생산, 진공 어닐링 및 소결 응용 프로그램, 매우 낮은 압력이 필요한 프로세스, 표면 분석 응용 프로그램에 적합합니다. 펌프는 견고한 건축 및 재료로 설계되어 매우 안정적이고 오래 지속됩니다. TMU 521P는 혁신적인 고성능 터보 분자 펌프로, 뛰어난 압력 수준과 장기적인 신뢰성을 제공합니다. "펌프 '는 견고하고 설치와 유지 관리가 용이하여 까다로운 초고진공 응용프로그램에 적합합니다.
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